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技術(shù)文章

日本ULVAC GCD-051/136/201X/(F)防腐型真空油泵技術(shù)參數(shù)

點擊次數(shù):1502 發(fā)布時間:2014-3-14

特性
ULVAC機工的GCD系列直聯(lián)型油旋片式真空泵,具有耐腐蝕性,可用于對有毒氣體和腐蝕性氣體的排氣,適用于化學(xué),半導(dǎo)體和生化行業(yè)。共有三種機型,排氣范圍在50L/min.至200L/min.之間。
使用指導(dǎo)
1.GCD系列真空泵請使用合成泵油(SOM)。
2.對任何有毒或腐蝕性氣體排氣前請咨詢當(dāng)?shù)劁N售商。
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續(xù)運轉(zhuǎn)。
應(yīng)用
1.半導(dǎo)體業(yè)界
2.化學(xué)業(yè)界
3.化學(xué)處理后干燥
4.生化業(yè)界
5.防污染耐酸性處理

 

型 號

實際排氣速度(L/min.)

極限壓力

(Pa)

吸氣管徑

(mm)

重量

(kg)

外形尺寸

W×L×H(mm)

電機

功率(W)

可選電壓(V)

GCD-051X

50/60

(50/60Hz)

6.7×10-2氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉)

6.7(氣鎮(zhèn)閥打開)

KF-25

14.1

165.5×423×222.7

200

    單相

100.115.200.220.230

GCD-136X

135/162

(50/60Hz)

6.7×10-2氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉)

6.7(氣鎮(zhèn)閥打開)

KF-25

25.4

170×493×241.1

400

單相100-120.200-240

三相200-240.380-460

GCD-201X

200/240

(50/60Hz)

6.7×10-2氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉)

6.7(氣鎮(zhèn)閥打開)

KF-25

26.6

170×509.5×241.1

750

單相100-120.200-240

三相200-240.380-460

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