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四探针测试仪

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产品型号MHY-7795

品       牌其他品牌

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所  在  地北京市

更新时间:2015-12-22 17:05:38浏览次数:634次

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MHY-7795型四探针测试仪是运用的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而的,用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的用仪器。

1.    四探针测试仪 四探针检测仪 四探针测定仪/四探针电阻率测定仪  型号:MHY-7795

MHY-7795型四探针测试是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法家标准并参考美 A.S.T.M 标准而的,用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了电子行、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。

四探针测试仪 术 标 : 

 测量范围  电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展);  
 方块电阻:10-4~106 Ω/□(可扩展); 
 电导率:10-5~105 s/cm; 
 电阻:10-5~105 Ω; 
 
可测晶片直径  140mmX150mm(配S-2A型测试台);
 200mmX200mm(配S-2B型测试台);
 400mmX500mm(配S-2C型测试台); 
恒源  电量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电连续可调 
数字电压表  量程及表示形式:000.00~199.99mV;
 分辨力:10μV;
 输入阻抗:>1000MΩ;
 度:±0.1% ;
 显示:四位半红色发光管数字显示;性、量程自动显示; 
四探针探头基本标  间距:1±0.01mm;
 针间缘电阻:≥1000MΩ; 
 机械游移率:≤0.3%;
 探针:碳化钨或速钢Ф0.5mm;
 探针压力:5~16 牛顿(总力); 
四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证) 
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 
整机测量zui大相对误差 (用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5% 
整机测量标准不确定度  ≤5% 
计算机通讯接口  并口,速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5  秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时)。连接电脑使用时带自动测量  能,自动选择适合样品测试电量程; 
标准使用环境  温度:23±2℃;
 相对湿度:≤65%;
 无频干扰;
 无强光直射; 

配置 主机、探针台、四探针探头、

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