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1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统
| 参考价 | 面议 |
- 型号
- 品牌 其他品牌
- 厂商性质 生产商
- 所在地 天津市
更新时间：2024-10-28 14:05:12浏览次数：7119
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| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 生物产业,石油,电子/电池,钢铁/金属 |
|---|
1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统产品用途：
此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计，特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔
电极方面的研究，通过滑动炉实现快速加热和冷却。
产品组成：
CVD系统配置：
1、1200度开启式真空管式炉（可选配单温区及双温区）。
2、滑动系统分为手动、电动滑动，并配有风冷系统。
3、内外双石英管，采用真空可通气氛双法兰特殊连接。
4、多路气体流量控制系统（质子流量控制器和浮子流量控制器）
5、真空系统（可选配中真空或高真空）
1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统产品特点：
1、控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2、中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵，防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。
3、(电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动，等程序完成，炉体按设定的速度滑动，因有滑动限位功能，炉体不会发生碰撞，待样品露出炉体后，通过风冷系统快速降温。
4、双管真空密封法兰，反应气体可以在内外管之间发生反应，冷却气体可通过内管，从而使内管外壁温度降低。
产品图片：
技术参数：
| 系统名称 | 1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统 | |
| 系统型号 | CVD-12II6SH-3Z/G | CVD-12III9SH-3Z/G |
| 极限温度 | 1200℃ | |
| 加热区长度 | 610mm | 940mm |
| 恒温区长度 | 400mm | 700mm |
| 温区 | 双温区 | 三温区 |
| 石英管管径 | 内管：Φ80mm 外管：Φ100mm | |
| 额定功率 | 4.8Kw | 7.2Kw |
| 额定电压 | 220V | 380V（三相） |
| 滑动距离 | 485mm | 650mm |
| 滑动方式 | 手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动，当程序完成，炉子按设定的速度滑动） | |
| 温度控制 | 国产程序控温系统50段程序控温； | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 炉管极限工作温度 | ＜1200℃ | |
| 双管法兰连接 | 采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能，并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在*使用设备的时候安装 | |
| 气体控制方式 | 质量流量计 | |
| 气路数量 | 3路（可根据具体需要选配气路数量） | |
| 流量范围 | 0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定 | |
| 精度 | ±1%F.S | |
| 响应时间 | ≤4sec | |
| 工作温度 | 5-45℃ | |
| 工作压力 | 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力） | |
| 系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | |
| 规格 | 高真空 | |
| 系统真空范围 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
| 真空泵 | 真空分子泵理论极限真空度 | |
| 炉体外形尺寸 | 480×770×605mm | 410×1100×605mm |
| 系统外形尺寸 | 530×1440×750mm(不含高真空) | |
| 系统总重量 | 340Kg | |
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