平面度誤差的測量

平面度誤差是指被測實際表面對其理想平面的變動量。
平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。
平面度誤差測量的常用方法有如下幾種：
1、平晶干涉法：用光學平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。
2、打表測量法：打表測量法是將被測零件和測微計放在標準平板上，以標準平板作為測量基準面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準面分為三點法和對角線法：三點法是用被測實際表面上相距zui遠的三點所決定的理想平面作為評定基準面，實測時先將被測實際表面上相距zui遠的三點調(diào)整到與標準平板等高；對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的zui大變動量即為該實際表面的平面度誤差。
3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構成，然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。
4、光束平面法：光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距zui遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。
關鍵詞：平面干涉儀、納米水平儀、自準直儀，粗糙度測試儀