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使用NexION 5000 SP-ICP-MS分析半導(dǎo)體級硫酸中的金屬納米顆粒

檢測樣品:半導(dǎo)體級硫酸

檢測項目:金屬納米顆粒

方案概述:在本實驗中,NexlON 5000多重四極桿ICP-MS用于分析1%硫酸中的納米顆粒污染,以證明其適用于半導(dǎo)體行業(yè)中使用的工藝化學(xué)品的常規(guī)實驗室分析。

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更新時間2024年12月02日

上傳企業(yè)珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司

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電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)作為一種多元素檢測技術(shù),具有靈敏度高、樣品類型靈活(氣體、液體和固體)、測量速度快、線性動態(tài)范圍寬等優(yōu)點。在單顆粒模式下運行的ICP-MS(SP-ICP-MS)已被證明是一種用于檢測和測量納米顆粒(NP)的強大技術(shù),能夠測定多種納米顆粒特征,如無機成分、濃度、粒徑、粒徑分布和聚集。

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