D07-26C 质量流量控制仪报价
参考价 | ¥ 5980 |
订货量 | ≥1台 |
- 公司名称 北京海富达科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 D07-26C
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/7/29 13:58:37
- 访问次数 912
联系方式:吴经理18910282514 查看联系方式
联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!
应用领域 | 化工 |
---|
质量流量控制仪报价质量流量控制仪报价 型号:D07-26C库号:M410142
流量控制器型号:D07-26C卡套连接用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量;质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环境和真空等多种行业的科研和中有着重要的应用。其应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任*意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用,
控制器与显示仪之间用配套用电缆连接。
主要技术指标
型号:D07-26C
流量规格:(20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
准确度:±1.5 % F.S.
线性:±1% F.S.
重复精度:±0.2 % F.S.
响应时间:≤10 sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
耐压:3 MPa
温度系数:Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;
工作环境温度:5 ℃~45 ℃
输入信号:0 V~+5.00 V
输出信号:0 V~+5.00 V
电插头形式:DB15 pin(Female)
电源:+15 V 50 mA
-15V 200 mA
重量:1.1 kg
注意:
质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为 : SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为 : 温度 --- 273.15K ( 0 ℃ );
气压 — 101325 Pa (760mm Hg)
在流量计MFC/MFM 产品,单位SCCM和“ mL/min, 0 ℃ ,1atm” 等同,单位SLM和“L/min, 0 ℃ ,1atm” 等同。
F.S . (Full Scale): 满量程值