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MPCVD单晶钻石沉积设备

具体成交价以合同协议为准

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。

郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;

其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。

近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。

如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。郑州成越科学仪器有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可?;队鹘缗笥演傲俨喂?、指导和业务洽谈。

 

管式炉,气氛炉,马弗炉,等离子磁控溅镀膜仪,等离子清洗机,切断机,抛光机


适合的应用:

化学气相沉积法制备高品质单晶钻石


化学气相沉积法制备高品质多晶钻石自支撑厚膜

化学气相沉积法制备高品质多晶钻石薄膜

化学气相沉积法制备石墨烯、碳纳米管、富勒烯和钻石膜等各种碳纳米薄膜



产品特点: 

本产品为不锈钢腔体式6kw微波等离子体设备,功率密度高;

水冷式基片台和水冷式金属反映腔,保证系统能长时间稳定工作;

基片温度以微波等离子体自加热方式达到;

真空测量仪表采用全量程真空计,可**测量本底真空和工作气体压强;

真空泵及阀门采用涡轮分子泵(极限真空为1×10-5Pa)和旋片式机械真空泵(极限真空为1Pa),系统可自动控制沉积气压;

配备冷却水循环系统,确保装置高功率下可长时间**稳定运行;

系统带15寸触摸屏,PLC自动控制,可设置温度或气压恒定,可保存复用多达20套工艺文件;

全自动工艺控制???,可以稳定可靠地制备高品质钻石薄膜和晶体

技术指标与特性:

项目名称

规格

配置

主控单元

 

PLC 自动程控

微波源

6kw  2.45Ghz

微波电源

微波发生器

波导

6kw

三销钉

模式转换器

6kw

 

谐振腔体

6kw

柱形水冷腔体

基台

φ70mm

电动升降

钻石生长基本参数

 

7x7mm   37

8x8mm   29

9x9mm   21

10x10mm  13

MFC(质子流量计)

5

Ch4  0-500sccm

H2   0-500sccm

N2  0-500sccm

Ar   0-500sccm

O2   0-500sccm

测温元件

 

高精度红外测温仪

真空测量

 

高精度真空计

分子泵

 

默认无/可选

氢气纯化

 

9N

水循环

 

3P水冷机





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