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等离子溅射蒸发二合一镀膜仪

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郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。

郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;

其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。

近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。

如果您正在被国货的产品质量所困扰,选择我们将改变您对国货的某些观念;如果您正在为自己的实验方案的实施而茫然,选择我们将有专业的技术团队为您量身定做!如果您正在为故障设备的售后无人理会而发愁,选择我们一切的问题将由我们负责到底。郑州成越科学仪器有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可?;队鹘缗笥演傲俨喂?、指导和业务洽谈。

 

管式炉,气氛炉,马弗炉,等离子磁控溅镀膜仪,等离子清洗机,切断机,抛光机

本产品为二合一镀膜仪,可用于电子产品、玻璃、陶瓷样品、金属等样品的镀膜。尤其适合实验室SEM(扫描电镜)的样品制备。设备主要由石英真空室、等离子溅射靶,蒸发镀膜装置,放置样品的样品台,真空泵机组、真空测量规管,进气系统和控制系统组成。
设备主机采用触摸显示屏操作,温控表检测。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。真空室采用上中下结构,样品台与靶的距离灵活可调。
设备真空获得系统采用上等双极旋片泵。 具有体积小,噪音小,无油污污染等优点。
真空腔体采用石英加工而成,呈现圆柱结构,外形美观,大方。主要密封法兰采用 KF 系列高真空密封法兰。真空腔体各接口均采用橡胶密封圈密封,真空性能优良,能有效镀膜质量。
技术参数:

样品台

φ80mm

至蒸发源间距

20mm~50mm可调

φ80mm

直流溅射头

数量

2” x1

蒸发系统

 

蒸发源

钨丝篮

*高温度

1700℃

热电偶

S型热电偶

真空腔体

 

腔体尺寸

φ180mm X 150mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

真空系统

 

 

 

机械泵

GHD-031B

抽气接口

KF16

真空测量

电阻规

排气接口

KF16

极限真空

10E-1Pa

供电电源

AC;220V 50/60Hz

抽气速率

旋片泵:4L/S

溅射电源配置

数量

直流电源 x1

*大输出功率

150w

 

其他

 

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

500 X 350 X 400mm

整机重量

15kg

整机功率

1.5kw



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