等离子溅射蒸发二合一镀膜仪
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
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- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/30 19:10:34
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本产品为二合一镀膜仪,可用于电子产品、玻璃、陶瓷样品、金属等样品的镀膜。尤其适合实验室SEM(扫描电镜)的样品制备。设备主要由石英真空室、等离子溅射靶,蒸发镀膜装置,放置样品的样品台,真空泵机组、真空测量规管,进气系统和控制系统组成。
设备主机采用触摸显示屏操作,温控表检测。其数字化参数界面和自动化操作方式为用户提供了优良的研发平台。真空室采用上中下结构,样品台与靶的距离灵活可调。
设备真空获得系统采用上等双极旋片泵。 具有体积小,噪音小,无油污污染等优点。
真空腔体采用石英加工而成,呈现圆柱结构,外形美观,大方。主要密封法兰采用 KF 系列高真空密封法兰。真空腔体各接口均采用橡胶密封圈密封,真空性能优良,能有效镀膜质量。
技术参数:
样品台 | φ80mm | 至蒸发源间距 |
20mm~50mm可调 | φ80mm | |
直流溅射头 | 数量 | 2” x1 |
蒸发系统
| 蒸发源 | 钨丝篮 |
*高温度 | 1700℃ | |
热电偶 | S型热电偶 | |
真空腔体
| 腔体尺寸 | φ180mm X 150mm |
观察窗口 | 全向透明 | |
腔体材料 | 高纯石英 | |
开启方式 | 顶盖拆卸式 | |
真空系统
| 机械泵 | GHD-031B |
抽气接口 | KF16 | |
真空测量 | 电阻规 | |
排气接口 | KF16 | |
极限真空 | 10E-1Pa | |
供电电源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽气速率 | 旋片泵:4L/S | |
溅射电源配置 | 数量 | 直流电源 x1 |
*大输出功率 | 150w | |
其他
| 供电电压 | AC220V,50Hz |
整机尺寸 | 500 X 350 X 400mm | |
整机重量 | 15kg | |
整机功率 | 1.5kw |