CY-MSH325- II-DCRF-SS 双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪
- 公司名称 郑州成越科学仪器有限公司
- 品牌
- 型号 CY-MSH325- II-DCRF-SS
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/7/30 18:51:18
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双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪主要特点:
1、配置两个靶枪,一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜。
2、可制备多种薄膜,应用广泛。
3、体积小,操作简便。
双靶高真空磁控等离子溅射镀膜仪技术规格:
项目 明细 产品型号 CY-MSH325- II-DCRF-SS 供电电压 AC220V,50Hz 整机功率 4KW 系统真空 ≦5×10-4Pa 样品台 外形尺寸 φ140mm 加热温度 ≦500℃ 控温精度 ±1℃ 可调转速 ≦20rpm 磁控靶枪 靶材尺寸 直径Φ50.8mm,厚度≦3mm 冷却模式 循环水冷 水流大小 不小于10L/Min 真空腔体 腔体尺寸 直径φ325mm,高度500mm 腔体材质 SUU304不锈钢 观察窗口 直径φ100mm 开启方式 顶开式 气体控制 1路质量流量计用于控制Ar流量,量程为:200SCCM 真空系统 配分子泵系统1套,气体抽速600L/S 膜厚测量 可选配石英晶体膜厚仪,分辨率0.10 ? 溅射电源 直流电源500W,射频电源500W 控制系统 CYKY自研专业级控制系统 设备尺寸 600mm × 650mm × 1280mm 设备重量 350kg
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