东京计TOKYOKEISO 质量流量计 TF-1001P-020 

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 流量计/液位计产品指南

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CLFC300

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流量测量装置

纯水/化学设备流量计和控制器流量控制器（设备用）| 一体式

CLFC300系列是集成了超声波流量计检测器、控制阀以及进行流量计算和阀门控制的电路的流量控制器。它

配备了可以极快的速度跟踪目标流量的控制功能，可用于控制半导体设备中所需的各种液体，例如化学品的定量供给、DIW的流量控制以及浆料流体的定值控制。

关于CLFC1000

即将推出的CLFC1000型号变更的产品介绍视频

目录和小册子

CLFC300系列

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*为了改进产品，所提供的信息可能会有所更改，恕不另行通知。

特征

提高可控性：

改进了传统的计算过程，进一步提高了对气泡的抵抗力。

流量测量的稳定性也得到了提高。

提高控制性

：最新的计算电路实现了极快的阶跃响应性能，实现了相对于设定值的控制速度小于1.5秒。

我们提供两种类型的阀门。

针阀适用于化学品和去离子水 (DIW)，夹管阀适用于浆料流体。

除了夹管阀之外，我们还新增了 STA-PURE 型 PCS 管。Sta

-Pure 管经久耐用，无需像以前那样定期更换管子。

小型轻便的

超声波流量计将检测器、控制阀和电路集成在一个小型外壳内，安装于设备内部时可节省空间。

结构经过重新设计，比以往型号更加紧凑（体积缩小20%）。

体积缩小的同时，重量也减轻了（体积缩小35%）。

减少接线和管道

安装只需连接流体入口和出口接头并使用多芯电缆进行电气接线；不需要复杂的管道或接线。

环保

：降低电流消耗（实测值：减少35%）。

采用符合RoHS标准的部件制造。

耐腐蚀性能 的

接液部件采用 PFA 和 PTFE 材质，适用于半导体行业以及其他各种接触化学品的行业。

外壳材质也采用了 PVDF。

EMC 合规性

EN 61326-1:2006

主要应用

设定药液、DIW 的供给流量

通过在以前通过计量泵或加压罐控制的各种药液、DIW 的供给管线中安装 CLFC300，可以高精度、稳定地控制供给的药液量。

浓度控制

用纯水等稀释药液，控制一定浓度时，在药液、纯水管路上安装CLFC300，可实现高度的浓度控制和管理。

稳定供给浆液

通过在CMP设备的各种浆液供给管线中安装CLFC300，可以稳定、定量地供给浆液，并可以防止所用液体的浪费。

标准规格

测量什么所有液体（为了稳定测量，液体不应含有气泡。） 

口径φ1/4 

流量范围用于浆液（夹管阀）

50至500mL/min 

纯水、化学液体（针阀）

最大200-2000mL/min

最小5-50mL/min 

流体温度10 至 50 °C 

流体压力最大0.4兆帕。 

过程连接Pillar S300（标准）、Flare 

测量精度±0.2%（满量程） 

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