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CPX系列 Lakeshore低温探针台

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上海麦科威半导体技术有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家专业的微纳材料、半导体和微电子材料及器件研发仪器及设备的供应商,所销售的仪器设备广泛用于高校、研究所、以及半导体和微电子领域的高科技企业。目前总部在上海,香港、南通、深圳、北京分别设立分公司和办事处,快速响应客户需求。同时上海麦科威在快速扩展海外市场,并设立新加坡分公司,辐射东南亚市场。

      上海麦科威半导体技术有限公司主要销售产品包括:  - 霍尔效应测试仪;  - 快速退火炉;  - 回流焊炉,共晶炉,钎焊炉,真空烧结炉;  - 电子束蒸发镀膜机,热蒸发镀膜机;  - 探针台,低温探针台,微探针台;  - 金刚石划片机; - 球焊机,锲焊机;  - 磁控溅射镀膜机;  - 原子层沉积系统,等离子增强原子层沉积设备;  - 电化学C-V剖面浓度分析仪(ECV Profiler); - 扫描开尔文探针系统; - 光学膜厚仪; -贴片机-PECVD\CVD;-脉冲激光沉积系统-PLD-纳米压印;-等离子清洗机、去胶机;-反应离子刻蚀RIE; - 光刻机、无掩膜光刻机; - 匀胶机; - 热板,烤胶板; -少子寿命、太阳能模拟器;-NMR-瞬态能谱仪-外延沉积-等离子清洗机-离子注入-划片机、裂片机光刻机(针尖/电子束光刻机EBL,紫外光刻机,激光直写光刻机),镀膜机(磁控溅射机,电子束蒸发机,化学沉积机,微波等离子沉积机,原子层沉积机  等等…

企业客户:华为技术有限公司, 深圳市鹏芯微集成电路制造, 深圳清力技术, 安徽格恩半导体, 苏州稀晶半导体科技, 矽品半导体, 厦门海辰新能源科科, 中核同创(成都)科技, 洛玛瑞芯片技术(常州),伟创力科技, 奥普科星河北科技,广东五星太阳能,广东万和集团,西安西测股份, 普源精电科技, 普源精电科技股份, 上海蔚来汽车, 北京华脉泰科, 广医东金湾高景太阳能科技, 深圳汇佳成电子, 深圳市化讯半导体材料, 珠海珍迎机电, 合肥鼎材科技, 山东金晶节能玻璃, 江苏云意电气股份, 广东风华技股份, 浙江中能合控股集团,固安维信诺,淮安天合光能,浙江老鹰半导体, 四川信通电子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大学, 汕头大学, 南方医科大学, 清华大学, 北京大学, 复旦大学, 西北工业大学, 南京医科大学, 香港中文大学, 香港城市大学, 苏州大学, 深圳职业技术学院, 南京大学合肥国家试验室, 上海交通大学医学院, 华南理工大学,华东师范大学,江南大学,重庆26所, 深圳大学, 南方科技大学, 深圳技术大学, 理化技术研究所, 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院, 桂林电子科技大学, 上海硅酸盐研究所, 中国航天五院,中科合肥智慧农业协同创新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半导体设备,快速退火炉,原子层沉积,键合机,光刻机

主要特征:

√  温度范围4.3 K~475 K

√  可选低温1.9 K/1.6 K

√  标准2英寸(51 mm)样品,4英寸(102 mm)可定制

√  样品可面内±5°旋转

√  样品振动<30 nm可选

√  超高真空选件

√  可定制真空腔联用转移样品,避免样品暴露在大气环境

√  环形磁体选件最大0.19T

设备参数:

温度范围

最多安装6个探针臂基础温度4.3 K,控制范围4.4 K ~ 475 K

安装PS-LT低温选件基础温度1.9 K,控制范围2 K ~ 475 K

安装PS-VLT-CPX极低温选件基础温度1.6 K,控制范围1.65 K ~ 400 K

安装PS-LL-CPX选件(Load Lock)基础温度10 K,控制范围10 K ~ 400 K

温度稳定性液氦液氮

基础温度 (无加热控制)±15 mK±20 mK

<10 K±50 mK

10 K ~ 100 K±20 mK±50 mK

101 K ~ 250 K±15 mK±50 mK

251 K ~ 350 K±15 mK±100 mK

351 K ~ 675 K±50 mK±100 mK

真空以TPS-FRG分子泵组为标准PS-HV-CPX高真空选件

抽真空时间30 min (<1 × 10-3 Torr)10 min (<1 × 10-3 Torr)

室温<5 × 10-4 Torr<5 × 10-6 Torr

基础温度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr

最高温度<1 × 10-5 Torr<5 × 10-7 Torr

循环时间

总循环3 h

抽真空0.5 h

探针台冷却1.25 h

探针台升温2 h

Load Lock样品更换时间1小时(配有PS-LL-CPX选件)

样品

最大尺寸51 mm(2英寸)标准

25.4 mm(1英寸)安装PS-VLT-CPX高真空选件

25.4 mm(1英寸)安装PS-LL-CPX  Load Lock选件

样品背光接口不可选

样品旋转±5°面内旋转

样品振动<300 nm标准,<30 nm配有PS-PVIS减震选件

探针配置

最大探针数6

探针臂温度计用于监视探针臂的温度

冷却探针支架<20 K(样品在基础温度下)

探针支架连接样品台或4K防辐射屏热沉

探针臂支架连接防辐射屏热沉

DC/RF探针电绝缘>100GΩ用于低漏电流测量

微波探针频率范围从DC到67GHz

光纤探针可用于电光测量

落针范围所有探针均可在直径为 25.4 毫米(1 英寸)的圆内落针




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