日本MITUTOYO三次元测量机LEGEX匠模型

日本MITUTOYO三次元测量机LEGEX匠模型

技术革新：纳米级精度的再突破

LEGEX匠系列在标准LEGEX平台基础上进行了多方位升级，其核心测量系统采用三丰最新研发的M-ULTRA Pro控制单元，搭配分辨率达1nm的超精细光栅尺。"双闭环"温控系统通过32个温度传感器实时监控设备状态，配合主动补偿算法，将温度漂移影响控制在±0.1μm/℃以内。测量范围覆盖500×800×600mm的标准工作空间，在20±0.3℃恒温环境下，空间测量精度可达(1.2+L/400)μm（L为测量长度，单位：mm），较普通工业机型提升近40%。

匠艺细节：手工调校的艺术

每台LEGEX匠系列需经过三道核心手工工序：首先由20年资历的匠人进行基础框架的应力释放调校，采用传统"叩き調整"技法，通过专用铜锤的轻微敲击消除内部应力；其次进行为期90天的自然时效处理，在特制恒温室中完成材料稳定；最后实施光学平面镜手工研磨，确保导轨平面度≤0.3μm/100mm。关键部位的56颗紧固螺钉均采用特制铍铜合金，经手工扭矩校准至0.02N·m精度。设备底部的紫铜铭牌刻有匠人亲笔签名和调校日期，成为身份标识。

应用价值：精密制造的方案

在半导体晶圆检测领域，某客户使用LEGEX匠系列成功将300mm晶圆的平面度测量重复性提升至0.15μm，助力5nm制程工艺研发。光学元件制造商利用其亚微米级扫描功能，实现了自由曲面透镜0.2μmPV值的高效检测。手工红宝石测头系统，在测量高反光金属表面时展现出的稳定性，某航天企业用其完成涡轮叶片榫槽0.5μm级轮廓检测。随设备附赠的匠艺传承手册，详细记录每道工序的技术要点，既是使用指南，更是精密制造的文化载体。