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化工仪器网>产品展厅>物理特性分析仪器>试验机>摩擦磨损试验机> 工艺与材料表征系统 TriboLab CMP


上海富瞻环??萍加邢薰咀溆谏虾U庾蠖际卸矫髦楦沟?,主要从事环保类仪器、卫生防疫检验检疫仪器设备的研发、创新、生产、定制服务,可以满足客户科研、劳保、防疫、卫生环境、水文、地理、应急、环保等多方面检测的需要,做好售后。

电子鼻技术,连续自动恶臭监测系统和便携式(手提式)恶臭检测仪,先后开发了异味、电子鼻、恶臭检测仪、空气污染物检测站等系列产品。

公司热忱期待和八方来客洽谈合作大计!富瞻专注于仪器研发、创新、非标化个性化特殊定制。涉及到的部分产品如下:


我们和国内外品牌都有合作,竭诚为您服务!

实验室仪器

食品分析

耗材试剂

水质检测

气体检测

传感器

气象检测

过程仪表

辐射放射

哈希、梅特勒、梅思安、华瑞、安东帕、PE、赛默飞、马尔文、艾卡、美墨尔特...........

恶臭气体分析仪

熏蒸气体检测仪

消毒杀菌气体检测仪

室内气体检测仪

酸雾检测仪

机动车尾气分析仪

天然气/煤气/沼气垃圾气分析仪

煤气/天然气热值仪

餐饮油烟检测仪

公共安全卫士环境应急检测仪

环境大气污染物检测仪

移动式大气环境污染物分析仪

非甲烷总烃检测仪

TVOC/VOC/VOCs检测仪

恶臭微型站

恶臭在线分析系统

在线油烟监测仪

垃圾臭味监测系统

有毒有害气体变送器

在线尾气废气烟气气体监测仪

工业流程气分析仪

非甲烷总烃检测仪

TVOC/VOC/VOCs检测仪

在线多气体分析仪

微型空气质量监测站

毒剂在线检测仪

公共安全卫生环境监控系统

酸雾监控系统

环境卫生监控设备

 

室内空气苯系物检测仪

大气氯苯污染分析仪

环境大气有机苯测试仪

PID检测仪

苯乙烯测试仪

三苯气体检测仪

异丙苯分析仪

VOC检测仪

非甲烷总烃分析仪

环境大气污染源监测仪

酚类气体探测仪

总酚探测器

醛类探测仪

大气复合污染检测仪

无组织排放源污染检测仪

工业有毒有害气体测试仪

工业窑炉锅炉烟气仪

机动车尾气废气分析

大气有机污染分析仪

车载环境大气粉尘仪分析仪

光化学污染测定仪

空气污染源监测仪

车载大气环境综合分析仪

非标定制污染气体检测仪系统

温室效应气体分析仪

工业安全应急检测仪

流动空气污染源追溯仪

面源污染检测仪

厂界污染测试仪

沼气分析仪

生物制气测试仪

环境恶臭检测仪

臭气浓度仪

熏蒸消毒气体检测仪

熏蒸气体残留测试仪

网格化大气环境检测仪

小型大气监测站

流动式环境大气污染分析仪

 

 

 

水分仪、活度仪、气体检测、气体报警、粉尘仪、水质分析仪器、酒精浓度仪

产地类别 进口 仪器种类 其他摩擦磨损试验机

工艺与材料表征系统 TriboLab CMP



核心参数

仪器种类:多功能摩擦磨损试验机   最大摩擦力:200N

摩擦力分辨率:10mN                    最高温度:1000℃


简介

布鲁克公司的TriboLab CMP系统结合了超过20年的CMP领域专业知识,为工艺开发提供了高精度和高重复性的解决方案。该系统能够模拟广泛的抛光条件,并具备全面的测量功能,包括摩擦力、声发射和表面温度等。其灵活的设计允许对各种材料和样品尺寸进行测试,特别适合研发阶段使用,能够在小样品上实现详细的表征,节省成本并提高效率。


TriboLab CMP 利用其前身产品 (Bruker CP-4) 超过 20 年的 CMP 领域专业知识,为业界的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上能够提供广泛的抛光压力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具,可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。



用于 CMP 的小型研发规模专业系统

布鲁克的TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专为晶圆抛光工艺而设计,是具有可靠、灵活和高效的台式设备。


重现全尺寸晶圆抛光工艺条件,无需在生产设备上?;?/span>


提供的测量可重复性和细节检测


允许在小样品上进行测试,比全晶圆测试节省大量成本


板载诊断系统可以更好地了解抛光过程

比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数


从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据


通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策


具有灵活的样品类型、尺寸和安装配置

抛光任何平面材料,几乎能使用任何修正盘,任何抛光液,和任何抛光垫


轻松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圆


可同时安装多个样品,测试更灵活


工艺与材料表征系统 TriboLab CMP



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