應(yīng)用領(lǐng)域

一、材料科學(xué)：能獲取材料表面的三維形貌、粗糙度等信息，研究其微觀結(jié)構(gòu)與加工質(zhì)量。還可測(cè)量材料表面摩擦力、阻抗分布等物理性質(zhì)，以及觀察材料在不同條件下的相變過(guò)程和結(jié)構(gòu)演變。

二、半導(dǎo)體工業(yè)：可檢測(cè)半導(dǎo)體基片表面的拋光缺陷、圖形化結(jié)構(gòu)等，提供表面粗糙度數(shù)據(jù)和深度信息，助力控制晶圓加工質(zhì)量。同時(shí)能檢測(cè)半導(dǎo)體器件表面的缺陷以及表面阻抗、電勢(shì)分布等電學(xué)性質(zhì)，有利于半導(dǎo)體材料的可靠性、均一性和失效性分析。

三、生命科學(xué)：可原位檢測(cè)溶液中DNA、蛋白質(zhì)等生物分子的精細(xì)結(jié)構(gòu)，測(cè)量其力學(xué)和電學(xué)性質(zhì)。也可用于測(cè)量細(xì)胞的機(jī)械特性，觀察細(xì)胞表面形貌和膜蛋白定位，為生命科學(xué)研究提供重要手段。

四、電化學(xué)領(lǐng)域：能原位研究電化學(xué)沉積、金屬腐蝕等過(guò)程，揭示反應(yīng)機(jī)理。結(jié)合手套箱等裝置，還可原位研究鋰電池等電池的充放電過(guò)程，有助于提高電池效率和性能。

儀器功能

一、多種測(cè)量模式：配備一系列功能模塊，可實(shí)現(xiàn)接觸式、輕敲式、相位圖、摩擦力及力曲線等多種測(cè)試功能。能在大氣環(huán)境下準(zhǔn)確地觀測(cè)樣品表面微區(qū)（納米及微米尺度）三維形貌，同時(shí)可對(duì)樣品表面物理特性（電學(xué)、磁學(xué)、力學(xué)等特性）進(jìn)行研究。

二、數(shù)據(jù)采集與分析：支持自動(dòng)多點(diǎn)測(cè)量，只需點(diǎn)擊一下，從測(cè)量，到圖像數(shù)據(jù)分析、保存可一次性完成，大大縮短了數(shù)據(jù)測(cè)量分析時(shí)間。

三、AFM標(biāo)記功能（選配）：通過(guò)采用自主開(kāi)發(fā)的S?Mic.（AFM-SEM相關(guān)顯微鏡法）觀察方法，在觀察樣品的同一位置時(shí)，可以充分發(fā)揮AFM和掃描電子顯微鏡SEM的特性，對(duì)樣品進(jìn)行機(jī)械特性、電氣特性、成分分析等檢測(cè)，易于開(kāi)展多方面分析。

儀器特點(diǎn)

一、提高操作性：采用新開(kāi)發(fā)的預(yù)裝方式懸臂，簡(jiǎn)化了過(guò)去操作繁瑣的懸臂更換過(guò)程，提高了操作性。同時(shí)配備自動(dòng)向?qū)Чδ埽筛鶕?jù)樣品的表面形貌，自動(dòng)設(shè)置測(cè)量條件，對(duì)探針進(jìn)行接觸狀態(tài)控制和掃描速度調(diào)整等，使任何人測(cè)量都能得到穩(wěn)定的結(jié)果，降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的依賴。

二、增強(qiáng)可靠性：通過(guò)自動(dòng)向?qū)Чδ茉O(shè)置測(cè)量條件，以及預(yù)裝懸臂減少安裝誤差等方式，提高了數(shù)據(jù)的可靠性，減少了因人為因素導(dǎo)致的數(shù)據(jù)差異。儀器的RMS噪音水平≦0.03nm、基線漂移≦0.03nm/sec，保障了測(cè)量的精度。

三、實(shí)現(xiàn)擴(kuò)展性和持續(xù)性2：標(biāo)配控制軟件免費(fèi)下載服務(wù)和能夠自行診斷意外故障因素的自檢功能，用戶可自行進(jìn)行軟件升級(jí)，始終保持儀器的新性能，確保用戶可長(zhǎng)期使用。

四、與 SEM 親和性高：選配的“AFM標(biāo)記功能”提高了與本公司SEM裝置的親和性，便于對(duì)樣品進(jìn)行多設(shè)備、多方面的聯(lián)合分析。

五、適用范圍廣：可應(yīng)用于電池材料、半導(dǎo)體、高分子、生物材料等各個(gè)領(lǐng)域的科學(xué)研究開(kāi)發(fā)和質(zhì)量管理，從觀察石墨烯和碳納米纖維等納米材料，到超過(guò)0.1mm的大范圍3D形貌觀察、粗糙度分析、物性評(píng)估等都能勝任。

技術(shù)指標(biāo)和基本參數(shù)