中图仪器CHOTEST共聚焦显微镜以共聚焦技术为原理结合精密Z向扫描?？?、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

中图仪器CHOTEST共聚焦显微镜用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量?？刹飧骼喟ù庸饣酱植?、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。

产品功能

1)3D测量功能：设备具备表征微观3D形貌的轮廓尺寸及粗糙度测量功能；

2)影像测量功能：设备具备二维平面轮廓尺寸的影像测量功能，可进行长度、角度、半径等尺寸测量；

3)自动拼接功能：设备具备自动拼接功能，能够实现大区域的拼接缝合测量；

4)数据处理功能：设备具备调整位置、纠正、滤波、提取四大?？榈氖荽砉δ?；

5)分析工具功能：设备具备粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；

6)批量分析功能：设备具备一键分析和多文件分析等辅助分析功能，可实现批量数据文件的快速分析功能；

7)便捷操作功能：设备配备操纵杆，支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等；

8)光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；

9)镜头安全功能：设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效?；ぞ低泛蜕柚幔宋僮鞯陌踩缦?。

不同应用场景下的3D形貌

VT6000白光干涉共聚焦测量显微镜主要应用于半导体、光学膜材、显示行业、超精密加工等诸多领域中的微观形貌和轮廓尺寸检测中，其次是对表面粗糙度、面积、体积等参数的检测中。

3D形貌图片：

影像测量功能界面

应用场景

半导体制造：晶圆表面缺陷检测、V型槽深度测量、激光孔形貌分析。

3C电子：手机玻璃屏平整度、微透镜阵列曲率、PCB基材粗糙度检测。

汽车工业：精密零部件几何轮廓、金刚石钻头磨损评估。

科研与新材料：超光滑表面粗糙度、微纳结构体积计算、太阳能栅线形貌建模。

部分技术指标