MPS-10X型多功能型探针台
参考价 | ¥ 555 |
订货量 | ≥1件 |
- 公司名称 如皋市原野勘察机械厂
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/5/30 16:46:29
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,电气,综合 |
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产品简介 :
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试得探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发得这款结构小巧,功能实用,成本较低得简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
主要技术指标:
结构紧凑,功能实用,价格实惠
最大可用于12寸以内样品测试
兼容高倍率电子显微镜,可360°旋转和微调升降
漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计
应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
1微米以上电极/PAD使用
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技术参数选型:
规格/参数 | |||||||
型号 | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | |||
电力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
样品台 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | XY行程50mm,Z轴升降60mm,360°旋转可锁紧 | ||||||
移动精度 | 标配10μm,可升级(5μm,3μm,1μm) | ||||||
背电极测试功能 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | 可以引出电极 | |||
定制???/span> | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | |||
探针调整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
机械精度 | 标配10μm,可升级(5μm,3μm,1μm) | ||||||
漏电精度 | 10pA-100fA(配置屏蔽箱) | ||||||
安装方式 | 直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC | ||||||
光学成像 | 放大倍数 | 7-200倍(最大可升级到720倍) | |||||
CCD像素 | 500W(可升级200W) | ||||||
中心距离 | 140mm,升降范围270mm,总高度350mm | ||||||
显示器 | 8寸显示器,将3-17mm的样品放大到整个屏幕(可升级大尺寸显微镜) | ||||||
可选附件 | 加热卡盘 | 高低温卡盘 | 镀金卡盘 | ||||
隔振支架 | 积分球测试选件 | 屏蔽箱 | |||||
射频测试附件 | 导入光源支架 | 波长单色可调光纤光源(测光电流) | |||||
显微镜调节手动/电动调节装置 | 激光切割显微镜 | 转接头配件 |