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GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器

參考價(jià) 29800
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司
  • 品牌 HIRSCHMANN/德國(guó)赫施曼實(shí)驗(yàn)室儀器
  • 型號(hào) GR-511F
  • 產(chǎn)地 日本
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/5/22 16:00:57
  • 訪問(wèn)次數(shù) 57

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曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司是一家專業(yè)的科學(xué)儀器供應(yīng)商,主要從事高校、科研院所、生物醫(yī)藥等生命科學(xué)領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室產(chǎn)品的銷售和技術(shù)服務(wù)。我公司致力于提供高品質(zhì)的科學(xué)儀器、耗材,為客戶提供整體解決方案,通過(guò)專業(yè)、細(xì)致以及全面的技術(shù)服務(wù),實(shí)現(xiàn)“為客戶提供更多價(jià)值”的承諾。公司成立以來(lái)一直與國(guó)內(nèi)外廠商保持密切聯(lián)系,不斷引進(jìn)各種優(yōu)質(zhì)的科學(xué)儀器產(chǎn)品。公司一直以“打造優(yōu)質(zhì)品牌、服務(wù)科學(xué)領(lǐng)域”的產(chǎn)品理念與社會(huì)宗旨,積極推動(dòng)祖國(guó)科研事業(yè)發(fā)展。


“超微量分光光度計(jì),菌落計(jì)數(shù)儀,移液器,紫外輻照儀,紫外交聯(lián)儀,熒光蛋白激發(fā)光源,紫外燈”

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 1萬(wàn)-3萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HORIBA GR-511F 是一款專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器,主要用于在靜電吸盤(ESC)環(huán)境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量,以保持晶圓背面的溫度均勻性與熱交換效率。這款產(chǎn)品融合了高精度壓力控制與可選質(zhì)量流量計(jì)功能,廣泛應(yīng)用于等離子體蝕刻、CVD、ALD 等工藝過(guò)程中,是提升工藝穩(wěn)定性和良率的關(guān)鍵設(shè)備。

核心優(yōu)勢(shì)

  • 高精度壓力控制:支持 1% 至 100% 滿量程設(shè)定,控制精度高達(dá) ±0.5% 讀數(shù),零點(diǎn)溫漂低。

  • 可選質(zhì)量流量控制:流量輸出精準(zhǔn),適用于高精度冷卻氣體需求。

  • 快速響應(yīng):響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒,滿足半導(dǎo)體工藝快速切換的需求。

  • 全面兼容:支持氦氣、氬氣、氮?dú)?,接液材質(zhì)為 SUS316L,不銹鋼密封,適用于腐蝕性工藝環(huán)境。

  • 靈活接口與安裝:模擬信號(hào)輸入輸出,支持任意方向安裝,方便集成至現(xiàn)有系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)

  • 控制介質(zhì):氦氣(He)、氬氣(Ar)、氮?dú)猓∟?)

  • 測(cè)量與控制功能:

    • 壓力控制(標(biāo)準(zhǔn)配置)

    • 質(zhì)量流量控制(選配)

  • 壓力滿量程范圍:

    • 1.333 kPa(10 Torr)

    • 2.666 kPa(20 Torr)

    • 6.666 kPa(50 Torr)

  • 壓力控制范圍:1% ~ 100% F.S.

  • 壓力精度:±0.5% 讀數(shù)

  • 零點(diǎn)溫度系數(shù):±0.04% F.S./℃,跨度溫度系數(shù) ±0.04% 讀數(shù)/℃

  • 流量范圍(可選):20 / 50 / 100 SCCM

  • 流量精度:

    • 25% F.S.:±1% 讀數(shù)

    • ≤25% F.S.:±0.25% F.S.

  • 接口信號(hào):

    • 輸入信號(hào):0.1~10 VDC(壓力設(shè)定),可選 0.05~5 VDC

    • 輸出信號(hào):0~10 VDC 或 0~5 VDC(壓力 / 流量反饋)

  • 供電電源:±15 VDC ±5%,電流各 250 mA,最大功耗 7.5 VA

  • 響應(yīng)時(shí)間:≤ 1 秒

  • 最高使用壓力:300 kPa(絕壓)

  • 耐壓等級(jí):350 kPa(絕壓)

  • 氣密性:≤ 7 × 10?11 Pa·m3/s(氦檢漏)

  • 工作環(huán)境溫度:5°C ~ 50°C(精度保證范圍為 15°C ~ 40°C)

  • 安裝方式:任意方向,標(biāo)準(zhǔn) 1/4 英寸 VCR 或等效接口

  • 接液材質(zhì):SUS316L 不銹鋼

  • 設(shè)備重量:約 1.5 kg

  • 信號(hào)類型:模擬(Analog)

  • RoHS 認(rèn)證:符合環(huán)保要求

應(yīng)用場(chǎng)景

  • 半導(dǎo)體蝕刻機(jī)中的 ESC 背面冷卻

  • CVD、ALD 等薄膜沉積設(shè)備溫控系統(tǒng)

  • 靜電吸盤冷卻壓力閉環(huán)控制系統(tǒng)

  • 需要高響應(yīng)、高精度氣體壓力控制的工藝




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