MODEL 8900 KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科賦樂
- 型號 MODEL 8900
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/5/21 9:00:47
- 訪問次數(shù) 43
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售。
產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
支持15~24VDC寬頻電源
模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)(氣體):
基于熱擴散原理,直接測量氣體質(zhì)量流量(無需溫壓補償)。
低流量靈敏度:可檢測0.1 sccm(如半導(dǎo)體工藝氣體控制)。
壓差式技術(shù)(液體):
通過層流元件產(chǎn)生壓差,線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計:接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能:
數(shù)字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自診斷報警(流量超限、傳感器異常)。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例:晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量穩(wěn)定性±0.5%,響應(yīng)時間<1秒。
配置:鈦合金流道(耐Cl?腐蝕)+ 防爆認證(Ex d IIC T6)。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例:硅烷(SiH?)氣體輸送(MFC-3000系列)。
挑戰(zhàn):硅烷易燃易爆,需杜絕泄漏風(fēng)險。
方案:全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例:腐蝕性液體(如鹽酸)定量添加(RK-2400系列)。
材質(zhì)選擇:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
傳感器 | 熱式繞組傳感器 | |
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閥門 | 電磁比例閥(斷電時 關(guān)閉) | |
對象氣體 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
流量范圍(N2換算) | 10SCCM~20SLM | |
控制范圍 | 2~100%F.S. | |
響應(yīng)性 | 2sec以內(nèi)(within±2%F.S.) | |
精度 | ±1%F.S.(25℃) | |
溫度系數(shù) | ±0.1%F.S./℃(15~35℃) | |
重現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | |
動作壓差 | F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.>5SLM 100~300kPa | |
入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
耐圧 | 1MPa(G) | |
He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
允許環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
允許保存溫度 | -10~60℃ | |
允許周圍濕度 | 10~90%RH(未出現(xiàn)冷凝) | |
與氣體接觸的材質(zhì) | SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR) | |
電気接続 | D-sub9九針 KFC standard(依據(jù)SEMI standard) | |
模擬流量設(shè)定信號 | 0~5VDC(輸入Z,1MΩ以上)or 4~20mA(輸入Z,250Ω) | |
模擬流量輸出信號 | 0~5VDC(負載電阻250kΩ以上)or 4~20mA(負載電阻300Ω以下) | |
電源 | +15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA or 24VDC(±10%)450mA | |
外部尺寸 | 寬32mm × 高100mm(包含連接部)× 平面76mm(不包含接頭) | |
接頭(本體口徑) | 標(biāo)準(zhǔn):1/4SWL、可選:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4(9/16-18UNF) | |
重量 | 約1,000g |