MODEL 8900 KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 KOFLOC/科賦樂
- 型號 MODEL 8900
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/5/21 9:00:47
- 訪問次數(shù) 43
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售。
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
支持15～24VDC寬頻電源
模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 傳感器 | 熱式繞組傳感器 | |
|---|---|---|
| 閥門 | 電磁比例閥（斷電時 關(guān)閉） | |
| 對象氣體 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
| 流量范圍（N2換算） | 10SCCM～20SLM | |
| 控制范圍 | 2～100%F.S. | |
| 響應(yīng)性 | 2sec以內(nèi)（within±2%F.S.） | |
| 精度 | ±1%F.S.（25℃） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.1%F.S./℃（15～35℃） | |
| 重現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | |
| 動作壓差 | F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa | |
| 入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
| 允許環(huán)境溫度 | 5～45℃ | |
| 允許保存溫度 | -10～60℃ | |
| 允許周圍濕度 | 10～90%RH（未出現(xiàn)冷凝） | |
| 與氣體接觸的材質(zhì) | SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR) | |
| 電気接続 | D-sub9九針 KFC standard（依據(jù)SEMI standard） | |
| 模擬流量設(shè)定信號 | 0～5VDC（輸入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（輸入Z,250Ω） | |
| 模擬流量輸出信號 | 0～5VDC（負載電阻250kΩ以上）or 4～20mA（負載電阻300Ω以下） | |
| 電源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or 24VDC（±10%）450mA | |
| 外部尺寸 | 寬32mm × 高100mm(包含連接部）× 平面76mm(不包含接頭) | |
| 接頭（本體口徑） | 標(biāo)準(zhǔn)：1/4SWL、可選：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF） | |
| 重量 | 約1,000g | |
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