磁控濺射鍍膜機(jī) 成都半導(dǎo)體設(shè)備廠家
參考價 | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 成都超邁光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 成都市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)(龍泉驛)車城西二路288號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/5/12 16:00:02
- 訪問次數(shù) 68
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
Research-磁控濺射鍍膜用于納米級單層或多層膜、類金剛石薄膜、金屬膜、導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜和非導(dǎo)電膜等功能薄膜的制備,可實現(xiàn)共濺射,直流、射頻兼容,特別適于科研院所和企業(yè)進(jìn)行功能薄膜研發(fā)、教學(xué)和新產(chǎn)品開發(fā),同時可在微米級粉末或顆粒上沉積薄膜進(jìn)而達(dá)到表面改性的功能。是替代鐘罩式磁控濺射的理想選擇。
主體結(jié)構(gòu)。全封閉框架結(jié)構(gòu),機(jī)柜和主機(jī)為一體式機(jī)構(gòu)。
極限真空度。≤6.63×10-5Pa,壓升率優(yōu)于國家標(biāo)準(zhǔn)。
真空配置。高速直聯(lián)旋片泵一臺,配置尾氣處理裝置,超高分子泵一臺。
真空測量。兩路電阻規(guī),一路電離規(guī);電阻規(guī)和電離規(guī)均采用防爆型金屬封結(jié)真空規(guī)。
工件架系統(tǒng)。行星工件盤與公轉(zhuǎn)工件盤可選,垂直濺射與共濺射兼容,可配置1個加熱臺,采用PID控制可烘烤加熱到700℃。
磁控濺射系統(tǒng)。配置3個Φ50mm可折疊磁控靶(可擴(kuò)展至4靶機(jī)構(gòu)),向上濺射成膜;靶基距可調(diào);靶內(nèi)均通入冷卻水冷卻。
電源 。2套直流電源;1套全固態(tài)射頻電源;;一套200W直流偏壓電源。
充氣系統(tǒng)。配置三路供氣,二路分別配置質(zhì)量流量控制器,線性±0.5 % F.S,重復(fù)精度±0.2% F.S,0-5V輸出,在觸摸屏上設(shè)置流量。
電氣控制系統(tǒng)。采用功能化模塊設(shè)計,匹配西門子人機(jī)界面+西門子控制單元,濺射時間可以設(shè)定并倒計時,能夠根據(jù)工藝需求自動濺射。
特別說明:根據(jù)用戶不同的工況和工藝要求,公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā),共享知識產(chǎn)權(quán),公司致力于工藝與設(shè)備的匹配,該設(shè)備為公司與電子科技大學(xué)聯(lián)合研發(fā)。