日本HONDA本多石英振动体超声波清洗机W-357

低损伤清洗细微Pattern后的晶片采用特殊构造的石英体，从石英端面均匀照射超声波与流水式超声波相比，使用液量少，可抑制对细微Pattern的损伤。使用石英材质可对应各种化学清洗液常时确认振子的驱动频率·电压·电流·阻抗，保持稳定电力以控制输向震度水的能量恒定。对异常状态报警输出

由于压电陶瓷是机械地连接在一起，即使在高振幅振动也不会损坏。

由于电声转换效率高，发热低，在高温下也可以稳定工作。

本公司利用压电陶瓷，压电高分子膜，压电薄膜作为产生超声波的压电材料

压电陶瓷(BaTi0,"PZT·PbTiO,"(Bi,Na)TiO,)

压电陶瓷是利用氧化钛·氧化钡等高纯度的粉末经高温烧结而成的多晶陶瓷，经极化处理后而具有压电性。

压电高分子膜(P(VDF-TrFE))

压电高分子膜是从溶解的聚合物或溶液中制作而成的薄膜,通过极化处理而得到其特征是声阻抗特别小，可弯曲,很容易地利用溶液进行涂布而制成薄膜

压电薄膜 (zno)

压电薄膜是通过溅射法制成的。使用材料为氧化锌(Zn0)压电薄膜换能器是通过在石英，蓝宝石等基板上制作C轴取向的氧化锌(Zn0)晶体而成

什么是压电陶瓷?

·施加电压时会发生伸缩的特殊陶瓷

压电陶瓷是利用高纯度的粉末(氧化钛·氧化钡等)经高温烧结而成的多晶陶瓷给压电陶瓷施加力量(即施加机械能量)时就会产生电压(正压电效应)，相反施加电压时(即施加电能)根据其极性就会发生伸长或缩短(逆压电效应)通过极化处理(高温下对陶瓷施加直流高电压使自发极化的方向转为相同)就会产生“压电效应”

利用压电陶瓷产生超声波

·对压电陶瓷施加交流电压时...

对有电极的压电陶瓷施加交流电压时，由于压电效应就会振动，从而发出声音。声音的频率是由所施加的交流电压的频率决定的，当频率高于20kHz时就会产生超声波。

另外，利用谐振频率驱动时就可以得到较大的振幅。谐振频率取决于材料的性质和形状。通过加工压电陶瓷的形状，就可以得到所需要的频率。

日本HONDA本多石英振动体超声波清洗机W-357