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FZ-T-10000-H 高溫高壓光浮區(qū)單晶爐/日本CSC

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上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設(shè)備的供應(yīng)商,所銷售的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設(shè)立分公司和辦事處,快速響應(yīng)客戶需求。同時(shí)上海麥科威在快速擴(kuò)展海外市場,并設(shè)立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應(yīng)測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結(jié)爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī);  - 探針臺(tái),低溫探針臺(tái),微探針臺(tái);  - 金剛石劃片機(jī); - 球焊機(jī),鍥焊機(jī);  - 磁控濺射鍍膜機(jī);  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備;  - 電化學(xué)C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學(xué)膜厚儀; -貼片機(jī)-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓?。?等離子清洗機(jī)、去膠機(jī);-反應(yīng)離子刻蝕RIE; - 光刻機(jī)、無掩膜光刻機(jī); - 勻膠機(jī); - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機(jī)-離子注入-劃片機(jī)、裂片機(jī)光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,紫外光刻機(jī),激光直寫光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),原子層沉積機(jī)  等等…

企業(yè)客戶:華為技術(shù)有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術(shù), 安徽格恩半導(dǎo)體, 蘇州稀晶半導(dǎo)體科技, 矽品半導(dǎo)體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(shù)(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團(tuán),西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導(dǎo)體材料, 珠海珍迎機(jī)電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風(fēng)華技股份, 浙江中能合控股集團(tuán),固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導(dǎo)體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學(xué), 汕頭大學(xué), 南方醫(yī)科大學(xué), 清華大學(xué), 北京大學(xué), 復(fù)旦大學(xué), 西北工業(yè)大學(xué), 南京醫(yī)科大學(xué), 香港中文大學(xué), 香港城市大學(xué), 蘇州大學(xué), 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院, 南京大學(xué)合肥國家試驗(yàn)室, 上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院, 華南理工大學(xué),華東師范大學(xué),江南大學(xué),重慶26所, 深圳大學(xué), 南方科技大學(xué), 深圳技術(shù)大學(xué), 理化技術(shù)研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學(xué), 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體設(shè)備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機(jī),光刻機(jī)

高溫高壓光學(xué)浮區(qū)爐

 日本CSC司推出的高溫高壓光學(xué)浮區(qū)法單晶爐能夠提供2200℃以上的生長溫度,晶體生長腔壓力可達(dá)300bar,甚至10-5mbar的高真空。適用于生長各種超導(dǎo)材料單晶,介電和磁性材料單晶,氧化物及金屬間化合物單晶等。

模型fz - t - 10000 h -八世(vpo)電腦

鹵素?zé)粝到y(tǒng)

燈和鏡子的數(shù)量4個(gè)

鏡子數(shù)量4片

大氣

壓力

壓力0.95 MPa

真空6.7×10-3Pa (5×10-5 Torr)

(石英管)

常壓φ 50mm / 365 mm長/ 2mm厚

高壓φ 50mm / 365 mm長/ 5mm厚

軸密封為o型密封圈

Max。溫度2200℃

常溫1850℃

燈功率1200w (300W × 4個(gè)燈)

4,000W (1,000W x 4盞燈)

6,000W (1,500W × 4盞燈)

鏡臺(tái)/軸鏡臺(tái)與上軸垂直轉(zhuǎn)移

周圍溫差

桿面

<30℃

燈具冷卻空氣

鏡面冷卻空氣

Max。晶體長度(mm) 150

Max。進(jìn)給長度(mm) 150

生長罕見緩慢移動(dòng)0.01~300mm/hr

生長速度快移6~150mm/min

軸轉(zhuǎn)速5~100rpm

監(jiān)控CCD攝像頭和LCD

控制系統(tǒng)計(jì)算機(jī)LabVIEW / Windows 10(帶遠(yuǎn)程控制功能)

手動(dòng)Hand-control-box

①5L/min氬氣流量計(jì)(*1)

②500cc/min氧流量計(jì)

③10L/min帶壓縮機(jī)的空氣流量計(jì)

公用事業(yè)電力3相200V, 40A

水冷:3 ~ 5 l / min

尺寸(mm)主體W850×D760×H1950

控制箱W605×D760×H1700

備注:

1. 可選燈功率:150W / 500W / 750W

2. (*1)可更改其他類型的氣體和流量。

3. 質(zhì)量保證:

Crystal Systems Corporation保證自安裝之日起一(1)年內(nèi)有效,但以下情況除外

不正常使用。(1)燈(2)鏡子(3)石英管等玻璃器皿不在保修期內(nèi)。




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