应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,制药/生物制药 |
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湖北专业定制2吨工业超纯水设备厂家工艺设计
工业超纯水设备需满足电子、半导体、光伏、电镀等行业的严苛水质要求(如电阻率≥18.2MΩ·cm),以下为典型工艺流程及关键特点:
一、工艺流程
预处理阶段
多介质过滤器:去除悬浮物、胶体、铁锈等大颗粒杂质(过滤精度5-10μm)。
活性炭过滤器:吸附余氯、有机物、异味,降低TOC(总有机碳)。
软化器(可?。?/span>:通过离子交换树脂降低钙镁离子浓度,防止反渗透膜结垢。
精密过滤器:5μm滤芯拦截微小颗粒,保护反渗透膜。
可?。撼坦似?/span>(若原水含铁锰较高)。
核心净化阶段
高压泵加压至1.0-1.2MPa,水通过反渗透膜(如陶氏BW30-400),脱盐率≥99%,截留微生物、溶解性盐类。
中间水箱:储存RO产水,配备液位控制及氮封装置(防止CO?污染)。
一级反渗透(RO):
二级反渗透(可?。?/span>:进一步提升水质,适用于原水水质较差或高标准场景。
深度除盐与抛光
采用阴阳树脂混合床,进一步去除痕量离子,确保出水电阻率≥18.2MΩ·cm。
在电场作用下,淡室中的离子交换树脂再生,持续去除RO产水中的残留离子(电阻率提升至15-18MΩ·cm)。
电去离子(EDI):
抛光混床(可选):
后处理与灭菌
紫外线杀菌(UV):254nm波长紫外线杀灭99%以上细菌和病毒。
终端精密过滤:0.22μm或0.1μm微孔滤膜,拦截微粒及微生物尸体。
臭氧消毒(可选):对储水箱进行周期性臭氧杀菌,防止微生物滋生。
储存与分配系统
不锈钢无菌水箱:316L材质,配备氮封、呼吸器,避免空气微生物污染。
循环杀菌系统:通过巴氏消毒或紫外线循环,保持储水水质稳定。
二、设备特点
超高水质
出水电阻率≥18.2MΩ·cm,满足半导体、电子级超纯水标准(如SEMI C18、ASTM D5127)。
可选配TOC去除装置(如活性炭+UV联合工艺),控制总有机碳≤5ppb。
高效节能
反渗透+EDI组合工艺,减少化学再生消耗(如酸碱用量降低90%)。
回收率可达75%-90%(根据原水水质调整),节约水资源。
自动化控制
PLC+触摸屏集成控制,实时监测电导率、pH、TOC、温度、压力等参数,故障自动报警。
支持远程监控与数据记录,便于维护和合规管理。
灵活配置
预处理步骤可根据原水水质定制(如增加除硼过滤器、紫外线氧化等)。
可选配二级反渗透、抛光混床、氮封水箱等??椋悴煌幸当曜?。
三、技术参数示例
项目 | 参数 |
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产水量 | 2m3/h |
进水要求 | 浊度≤3NTU,SDI≤2,余氯≤0.05mg/L |
出水标准 | 电阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤5ppb |
回收率 | RO段≥75%,EDI段≥90% |
电源 | 380V/50Hz |
占地面积 | 约8-12m2(含预处理、主机、水箱) |
四、应用场景
半导体/芯片制造:晶圆清洗、蚀刻工艺用水。
光伏/液晶显示:硅片清洗、液晶灌注用水。
电子化学品生产:高纯试剂配制、实验室分析。
电镀/表面处理:镀液配制、产品清洗。
总结
湖北专业定制2吨工业超纯水设备厂家通过“预处理+反渗透+EDI+抛光混床+灭菌”组合工艺,实现高效、稳定的超纯水制备,满足工业领域对水质的要求。实际设计需根据原水水质、行业标准及预算优化配置。