70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源
- 公司名称 上海昊量光电设备有限公司
- 品牌 昊量光电
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2025/4/12 11:22:19
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上海昊量光电设备有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
专业源自专注 专注成就未来
自2008年成立以来，昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销，致力于引进guo外*先进性与创新性的光电技术与可靠产品，为国内Z前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务，助力中国智造与中国创造! 目前，昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等，所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。
昊量光电坚持“专业源自专注，专注成就未来”的经营理念。近年来，我们专注于前沿的细分市场，为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。
作为一家以技术沟通与技术服务见长的高科技企业，我们所有的销售与技术服务团队成员都具有理工科方面的专业背景，并在公司接受相关领域的专业培训，在售前技术沟通、售后产品安装培训、产品问题解决、软硬件增值服务等方面为客户提供更加专业化的服务！我们专业高效的商务与物流部门凭借多年积累的贸易经验与规范化的制度流程，保障每一笔订货准时安全到达目的地，免除客户的后顾之忧！
秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观，昊量光电坚持以诚信为基石，凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值，实现各方共赢！
立足于光电产业，昊量光电始终坚持价值创造与创新，赢得客户与合作伙伴的认可，不断拓展业务领域的新边疆，立志打造的代理服务品牌！
激光器调制器,激光测量加工设备,光学部件,光谱仪,光纤器件,晶体,精密定位系统扫描系统,探测器光子计数器,专用实验设备,相机
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 综合 |
|---|
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圆）
--- 适用于12英寸大型基板曝光
ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高达70W的i线(365nm)曝光,高达80W的宽带曝光（350-450nm）,适用于均匀度较高以及准直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已广泛试用在掩膜对准系统，步进系统(封装）,准直曝光系统及大功率辐射要求的固化系统，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成为半导体光刻制造及检测领域中的一个理想工具。
ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外点光源，适用于需要均匀和准直辐射的大型基材工业泛光曝光工具。这些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模对准器。它的紫外线输出足够强大，可以为更大的装置提供动力，正方形曝光面积可达400 X 400毫米，在某些情况下，甚至超过这个范围。ALE/2采用UV-LED技术，具有优异的输出稳定性和灵活的光谱控制，优于传统的高压汞放电灯。此外，它还消耗更少的电力，产生更少的热量，持续时间更长，并且不需要太多的整体维护。
ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中组合四个反馈控制的高功率UV-LED。可提供i线（CWL 365 nm）和宽带（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在纯i线工艺中，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美额定功率高达5,000 W的传统放电汞灯光源。对于宽带模式，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可与2,000 W放汞灯光源相媲美。
ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式设计方法，通常由一个控制子系统（CSS）+一个单独的曝光子系统（ESS）组成。ESS 的标准光出口是一个 16 mm X 16 mm 的光管 ，光引擎可以与标准和定制的聚光光学元件结合使用，以实现高度均匀的曝光。
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圆）应用场景：
| 半导体光刻制造（12英寸大基板） | 光固化应用和其他 |
| 掩膜对准系统 | 大面积光固化（400mm） |
| 步进系统（封装） | 高辐射剂量固化应用 |
| 准直曝光系统 | 紫外成像 |
| 晶圆光刻曝光 | |
| 晶圆缺陷检测 |
ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特点：
内置解决方案可实现更高曝光效率和性能；
高达70W的纯i线曝光（365nm）;
高达80W的宽带模式曝光（350-450nm）;
闭环光控制输出；
无汞，绿色光源；
无需外部冷却，更节能；
ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源规格参数：
| 发光单元选项 | 多大4个波长，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 输出功率 | up to 80W@宽带， up to 70W@i线-365nm |
| 数值孔径 | NA 0.3(2a ~35°) 配合标准聚光镜 （condenser） |
| 控制配置 | 1、独立的LED电源管理和预设； 2、高分辨率强度调整（10%-100%）； 3、LED上升时间<1ms； 4、持续监控光输出和反馈控制； |
| 通讯接口 | 1、离散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太网/MOdbuS TCP/IP （可?。?； |
| 热管理 | 1、带内部散热器的液体冷却（Standard mode）； 2、外部冷却器（可选项），（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 电源输入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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