| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 化工,生物产业,石油,制药/生物制药,综合 |
质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医 药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电 子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设 备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07-7质量流量控制器/流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、 工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安 装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07系列质量流量控制器一般与 D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示 仪之间用专用电缆连接。
特点：
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 管状分流，使用寿命长
D07-7质量流量控制器/流量计技术参数：
编号 | 类型 | D07-7K 型 | D07-7B 型 | D07-7C 型 | D07-7CM 型 |
1 | 流量规格 | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM | ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 | 准确度 | ±1 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S | ±1.5 % F.S |
3 | 线性 | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S | ±1 % F.S |
4 | 重复精度 | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S | ±0.2 %F.S |
5 | 响应时间 | 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec | 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec | 电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec | 10 sec |
6 | 气压降 | ˉ | ˉ | ˉ | <0.01 MPa |
7 | 工作压差范围 | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | (0.1 ~ 0.5) MPa | <0.01 MPa |
8 | 温度系数 | Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; | ˉ | ˉ | ˉ |
9 | 最大工作压力 | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa | 1 MPa |
10 | 耐压 | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa | 3 MPa |
11 | 工作环境温度 | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 | 输入输出信号 | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V | 0 V ~ +5.00 V |
13 | 电源 | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA; -15V 200 mA | +15 V 50 mA
|
14 | 重量 | 1.1 kg | 1.1 kg | 1.1 kg | 0.92 kg |
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