KLA Filmetrics® Profilm3D® 光学轮廓仪和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。这些机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。KLA Filmetrics® Profilm3D® 光学轮廓仪采用TotalFocus™ 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。新一代的 Profilm3D 引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm3D 还具有简单、创新的用户界面和自动化功能，支持从研发到生产的各种工作环境。

我们的 Profilm^® 软件包采用优良的基于云的 ProfilmOnline^® 网络服务、 Android 和 iOS 的移动应用程序以及高级 Profilm 桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。

特征

• 垂直扫描和相移干涉测量法用于测量纳米级到毫米级的表面特征

• TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

• 真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征

• 粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

• 该自动对焦功能具有行业优秀的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面

• 具有长行程范围的 自动化 X-Y 样品台，非常适合分布测绘和拼接扫描

• 使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析。

应用

• 台阶高度：从纳米级到毫米级的 3D 台阶高度

• 纹理和形状：3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状

• 纹理表征

• 边缘倒角：3D边缘轮廓测量

• 缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征

• 对大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描

• 高粗糙度，低反射率，划痕表征

行业

• 大学、实验室和研究所

• 硅和化合物半导体

• 精密光学和机械

• 医疗设备

• LED：发光二极管

• 功率器件

• MEMS: 微机电系统

• 数据存储

• 汽车