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OYS-1200C-II-60-PECVD 滑動PECVD系統(tǒng)爐

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 合肥新元素科技裝備有限公司
  • 品牌 HF.weiyuansu
  • 型號 OYS-1200C-II-60-PECVD
  • 產(chǎn)地 安徽合肥
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/5/29 11:58:07
  • 訪問次數(shù) 508

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合肥新元素科技裝備有限公司位于有“科教之城”美譽(yù)的安徽合肥,致力于高校研究院所各類理化實(shí)驗(yàn)察設(shè)備儀器的供應(yīng),尤其專注于高溫加熱設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)銷售及配套產(chǎn)品的供應(yīng)和技術(shù)咨詢服務(wù),是一家新生代的科技生產(chǎn)單位,竭力為實(shí)現(xiàn)“中國科技創(chuàng)新世界”的強(qiáng)國夢貢獻(xiàn)一份力量!

公司目前經(jīng)營項(xiàng)目

1.專業(yè)設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)和銷售一系列理化實(shí)驗(yàn)室制備。尤其是高溫加熱類設(shè)備如箱式爐管式爐、翻蓋爐、氣氛爐CVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng)、混料機(jī)、壓料機(jī)、球機(jī)以及相關(guān)輔材耗材等;

2.公司也承接實(shí)驗(yàn)室各類加熱項(xiàng)目建設(shè)的咨詢服務(wù),各種加熱設(shè)備的技術(shù)咨詢和維護(hù)服務(wù);

3.各加熱類外協(xié)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目:

4.為各大高校和科研院所的師生實(shí)習(xí)實(shí)訓(xùn)和科學(xué)研究提供實(shí)習(xí)崗位和基地實(shí)驗(yàn)室。

世界萬物皆由“元素”組成,我們都是“微小”的一份子,“微元素”的初衷----與更多志同道合的“微元素”一起,打造“傾心服務(wù)”國人的“名族品牌”,為更多的科研工作者提供質(zhì)優(yōu)價廉的產(chǎn)品和服務(wù),為實(shí)現(xiàn)“科技強(qiáng)國”做出“力所能及”的貢獻(xiàn)!




實(shí)驗(yàn)室電爐、馬弗爐(箱式爐)、管式爐、氣氛爐、CVD系統(tǒng)、PECVD系統(tǒng)、真空系統(tǒng)以及各種電爐相關(guān)配件,支持非標(biāo)定制產(chǎn)品。

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),鋼鐵/金屬,航空航天,綜合
       OYS-1200C-II-60-PECVD系統(tǒng)爐是一款中型滑動開啟式PECVD系統(tǒng)。此款成套設(shè)備配有等離子射頻電源,三路質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)(量程為1-100SCCM,1-200SCCM,1-200SCCM),直徑為60mm的開啟式管式爐(帶真空法蘭和連接管道)及機(jī)械泵組成。
 

技術(shù)參數(shù)

規(guī)格型號

最高溫度

加熱區(qū)長度

加熱區(qū)長度

額定功率

額定電壓

外型尺寸

重量

OYS-1200C-SL

1200℃(<0.5 h)

Φ25*1000mm

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

Φ100*1000mm

440mm(單溫區(qū))

3.1 KW

AC220V

1680mm*490mm*700mm

約75KG


      ●爐體結(jié)構(gòu):PECVD系統(tǒng)爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度;爐膛采用高純氧化鋁纖維材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命,帶有過熱和斷偶保護(hù),開門斷電,提高實(shí)驗(yàn)安全性;爐子的底部安裝有一對滑軌,可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè),以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。
 
  ●控溫系統(tǒng):包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化50段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能;控溫精度±1℃;默認(rèn)DB9 PC通信連接端口;可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)。
 
  ●爐管:高純石英管φ100*1000mm,鍍鉻鋼制成的雙滑軌,手動滑軌長度1400mm。
 
  ●真空法蘭:
 
  ◎配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。
 
  ◎不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。
 
  ◎左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應(yīng)氣體。
 
  ◎一個機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。
 
  ◎法蘭端提供Φ6.35mm卡套進(jìn)氣口,出氣端配有獨(dú)立的Φ9.2mm排氣口和球閥,設(shè)備預(yù)留KF25抽氣口和KF16真空計(jì)連接口,可連接真空組件。
 
  ●真空組件:
 
  ◎配齊真空泵1臺(抽速≥16m³/h,真空度≤5.0X10-1Pa)
 
  ◎電阻真空計(jì)1套
 
  ◎手動擋板閥1個
 
  ◎波紋管1根
 
  ◎油霧過濾器1套
 
  ◎卡箍(型號:KF25)≥3個,以及相應(yīng)連接件
 
  ●極限真空度:≤1Pa(冷態(tài)空載)
 
  ●進(jìn)氣:
 
  ◎配浮子流量計(jì)1套,量程可選,安裝在設(shè)備上;
 
  ◎氣瓶配備氣體減壓閥1套
 
  ●標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管 ≥1 支,莫來石管堵 ≥1 對,不銹鋼法蘭 ≥1 套,硅膠密封圈 ≥2 套,高溫手套 ≥1 副,爐鉤 ≥1 支
 
  ●認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件:整機(jī)核心部件均符合CE、UL、MET等認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn);核心零部件有ABB電器元件,UL認(rèn)證電線、電纜,歐米茄,宇電、歐陸儀表等。


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