FPKOR-HEX-PVD 台式薄膜沉积系统PVD系统
参考价 | ¥800000-¥1000000/件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 孚光精仪(中国)有限公司
- 品牌孚光精仪
- 型号FPKOR-HEX-PVD
- 所在地上海市
- 厂商性质经销商
- 更新时间2024/12/16 10:00:02
- 访问次数 247
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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 80万-100万 |
---|---|---|---|
应用领域 | 综合 |
台式薄膜沉积系统为是模块化的PVD系统,为您的研究和实施应用提供了多种沉积选项??勺芭涞缱邮舴⒃碋-beam,ORCA低温蒸发源,热蒸发源,磁控溅射等。
台式薄膜沉积系统是研究和开发的理想选择,因为它具有??榛奶匦?。所有基本元件都可以访问,允许对各种组件进行测试,并对几种薄膜沉积技术中涉及的工艺进行探索,包括:表面分析样品制备,溅射,热蒸发,有机物理气相沉积等
基本型号中支持的方法包括:金属和光刻胶剥离工艺,EM样品制备,新型涂料研发,磁控溅射沉积*化
用户可购买基本型号,在必要时升级到*高级别的组件,这些升级是??榛?,安装简单,减少了系统?;奔浜桶沧俺杀?。

台式薄膜沉积系统配有一个80升/秒的泵,可实现高达8×10^-7毫巴的基本真空,并可实现高至100毫米的样品尺寸。该系统还配有一个多样品支架,可同时容纳几个较小的样品。
台式薄膜沉积系统可升级300升/秒的泵,可实现4×10^-7毫巴的基本真空。用户也可以选择一个较大的HEX-L室,其空间可容纳多达150毫米的样本,或多个较小的样本。
台式薄膜沉积系统由一个六面铝框架高真空室组成,该室重量轻,但足够坚固,适用于大多数物理气相沉积应用。六边形结构支撑六块??榛姘?,包括:
空白面板,“视口”面板,沉积源面板,PLD仪表过程控制面板,包括质量流量控制器和厚度控制,用于现场监测的QCM面板
该设计使用标准化配件,包括用于气体和水连接的Hamlet快速接头,以及用于样品台和部件附件的蝶形螺母。这种标准化使切换面板和根据特定应用调整系统变得简单。??榛杓苹故刮ず椭匦屡渲?快、*高效。

台式薄膜沉积系统是研究和开发的理想选择,因为它具有??榛奶匦?。所有基本元件都可以访问,允许对各种组件进行测试,并对几种薄膜沉积技术中涉及的工艺进行探索,包括:表面分析样品制备,溅射,热蒸发,有机物理气相沉积等
基本型号中支持的方法包括:金属和光刻胶剥离工艺,EM样品制备,新型涂料研发,磁控溅射沉积*化
用户可购买基本型号,在必要时升级到*高级别的组件,这些升级是??榛?,安装简单,减少了系统?;奔浜桶沧俺杀?。

台式薄膜沉积系统配有一个80升/秒的泵,可实现高达8×10^-7毫巴的基本真空,并可实现高至100毫米的样品尺寸。该系统还配有一个多样品支架,可同时容纳几个较小的样品。
台式薄膜沉积系统可升级300升/秒的泵,可实现4×10^-7毫巴的基本真空。用户也可以选择一个较大的HEX-L室,其空间可容纳多达150毫米的样本,或多个较小的样本。
台式薄膜沉积系统由一个六面铝框架高真空室组成,该室重量轻,但足够坚固,适用于大多数物理气相沉积应用。六边形结构支撑六块??榛姘?,包括:
空白面板,“视口”面板,沉积源面板,PLD仪表过程控制面板,包括质量流量控制器和厚度控制,用于现场监测的QCM面板
该设计使用标准化配件,包括用于气体和水连接的Hamlet快速接头,以及用于样品台和部件附件的蝶形螺母。这种标准化使切换面板和根据特定应用调整系统变得简单。??榛杓苹故刮ず椭匦屡渲?快、*高效。
