石英舟清洗机是一种专门用于清洗半导体制造过程中使用的石英舟和石英管的设备。以下是对石英舟清洗机的详细介绍：

设备构成

机械手：带动花篮进行水平和升降运动，使石英舟在超纯水工艺槽和化学工艺槽内进行振动清洗。

管路系统：对废液进行分类排放及回收，减少废液处理过程中的浪费，节省回收成本。

自动补液功能：通过液位传感器控制，确保清洗液的稳定供应。

技术特点

药液循环过滤：保持清洗液的清洁度，提高清洗效果。

炉管滚动：使石英舟在清洗过程中均匀受力，避免局部残留。

独取样口：方便对清洗效果进行实时监控。

安全措施：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等，确保设备操作的安全性。

应用领域

主要用于半导体制造过程中的石英舟和石英管的清洗，如8寸/12寸等多种尺寸的石英舟/石英管。