| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 1万-5万 |
|---|---|---|---|
| 试验力加载速率 | 见资料 | 压板间距 | 见资料mm |
| 应用领域 | 建材/家具,电子/电池,道路/轨道/船舶,电气,综合 | 最大试验力 | 见目录KN |
| 订货号 | 176.0755.4908. |
日本HORIBA堀场 数显自动压力调节器 UR-Z700系列
日本HORIBA堀场 数显自动压力调节器 UR-Z700系列
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微小压力控制，还可以进行流量测量。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通过使用经过验证的电容式压力传感器，可以在低压下进行精确的压力控制。
压力控制期间高精度监控气体流量。
对氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制，这对于控制晶圆背面的温度至关重要。配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅可以精确稳定地进行微压差控制，还可以进行流量测量。
业务部门：半导体
产品类别：流体控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
供货精准稳定
配备质量
流量传感器配备质量流量控制器中广泛使用的质量流量传感器，可以以与原料气体供应过程相同的精度监控实际流量。
与质量流量控制器相同的尺寸
与质量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以进行类似的设计和构造。
符合RoHS指令
这是一款配备数字控制电路的自动压力调节器，该电路使用高精度压力传感器和高分辨率、高速响应压电阀。
采用全金属结构（气体接触部分）和无死体积结构，可对腐蚀性气体和低蒸气压气体进行稳定的压力控制。它可以使用外部信号进行远程控制，非常适合安装在需要全面气体控制的系统中，例如需要全面性能评估的气体传感器和耐压评估系统。
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