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晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组

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北京卓立汉光仪器有限公司是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的高*技术企业。卓立汉光自1999年起,通过数年的不断努力,成长为光电仪器厂商之一。目前公司的电控位移台、手动位移台、光学调整架等产品已经形成产品系列化,规格多元化,国内多家科研单位、激光加工设备厂商、光纤设备厂商在使用我们的产品。2000年推出我司套量产型三光栅光谱仪后,不断推出了多套荧光、拉曼、光电探测器光谱响应、太阳能电池检测等光谱测量系统,广泛应用在众多高校和科研院所的研究与试验,为国家科技创新贡献了一份力量,产品凭借优良的品质远销欧美、东南亚等海外市场。 2005年10月在同行业中通过ISO9001质量管理体系SGS认证。2010年取得国家高*技术企业认定,2016年卓立汉光技术中心顺利通过市级技术中心评审。

 

卓立汉光主要生产经营:荧光/拉曼光谱系统、各类光谱测量系统、太阳能电池检测仪器、光栅光谱仪、各类型光源及探测器、电控精密位移台、手动精密位移台、光学调整架、光学平台、光学元件等系列产品。


我们诚心聆听用户的需要与批评,作为不断改进的动力,能让您满意卓立汉光的产品及服务,就是我们的成就。因此我们以卓立汉光的光机产品提供 “终身保固”的承诺,来表达我们对产品的信心。


我们坚持从设计、零件选型、制造、装配、检验、包装、运输、直到售后服务做好*质量保证,就是要让您 “付有所值”,以合理的价位得到优质的产品,这是我们对您选择卓立汉光真诚的回报。

卓立汉光始终以满足用户需求为宗旨,分别于上海、深圳、成都、西安设立分公司,为用户提供及时周到的销售与技术服务。“研发创新、快速反应、优质服务” 是我们的经营理念, 公司长期重视优质高效、短时间为客户开发产品及提供技术支持。卓立汉光真诚地希望与国内外同仁携手合作,为推动我国光电产业迅猛发展做出贡献。

 

 

 

光谱仪,拉曼光谱,荧光光谱,太阳能电池检测,位移台,滑台,光学调整架,电动滑台,光学平台,光学元件

晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组

Wide-field Fluorescence Microscope Module

  • 晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组以自动化显微镜模组为基础,针对 SiC 等化合物半导体晶圆位错、层错等缺陷检测需求。

  • 无须化学腐蚀、解理等样品前处理工艺,非接触、无损、整晶圆检测。

晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组

产品特性和核心技术:

激光自动聚焦。

  • 自主研制的激光辅助离焦量传感器。

  • 可在紫外激发光照射样品并采集荧光信号的同时工作,实现自动聚焦和表面跟踪。

紫外暗场照明。

  • 标配波长 275 nm 紫外激发光,可按用户要求定制其它波长激发光。

  • 可同位采集明场显微像、可见光波段暗场荧光像、红外波段暗场荧光像,分析样品中位错、层错等。

  • 晶格缺陷的分布。

全自动操作。

  • 自动化的控制软件和数据处理软件,全软件操作。

相关国家标准:

  • 《中华人民共和国国家标准 GB_T 43493.3-2023 半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第 3 部分:缺陷的光致发光检测方法》(2023 年 12 月 28 日发布,2024 年7月1日实施)

性能参数:

晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组

应用案例:

6 英寸 SiC 外延片缺陷检测

堆叠层错(SF)

晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组

基面位错(BPD)

晶圆缺陷检测:宽场荧光显微成像模组




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