| 泵轴位置 | 卧式 | 输送介质 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 叶轮数目 | 多级 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,航空航天,制药/生物制药 |
EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵
EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、轻量、节能的空冷干式真空泵。无需冷却水，所需公用工程仅电源，可在单相100V-240V电源下使用。采用小型、轻量的便携式设计，在有限空间内也能实现安装。除此以外，还采用非接触式密封结构，无需更换密封，使用寿命更长。除了各种分析用途以外，它也是便携式漏泄检测器以及需要反复搬动的研究和试验用途的选择。
特点
l 无油洁净真空；无需补充或更换水、油等定期维护作业
l 可从大气压达到高度真空
l 小型、轻量、节能
l 风冷
l 无需更换密封，使用寿命长
l 低噪音
l 可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求
技术参数
设备名称 | 单位 | EV-PA250 | EV-PA500 | |
排气速度（气镇打开时） | L/min | 230 (200) | 500 (430) | |
极限压力 | Pa | 0.5 (2.0)* | 0.5 (2.0)* | |
连接口径 | 吸气口 | NW25 | NW25 | |
排气口 | NW25 | NW25 | ||
极限压力时功率概值 | kW | 0.24 (0.38) | 0.27 (0.6) | |
冷却方式 | 空冷 | 空冷 | ||
电源 | 额定电压 50/60Hz | 单相 100-230V | 单相 100-230V | |
电压允许波动范围 | ±10% | ±10% | ||
电源容量 | kVA | 0.45 | 0.66 | |
质量概值 | kg | 16 | 21 | |
*气镇打开时 | ||||
EBARA荏原公司介绍：
2023年全年销售额：345亿元人民币
全球员工：19600人
EBARA荏原的精密与电子事业公司是真空技术和平坦化技术的企业，为行业先进的技术制造现场提供支撑。EBARA荏原向全球供应半导体制造的CMP装置以及干式真空泵、废气处理装置、臭氧水生产装置等各种产品。这些产品通过高性能、高可靠性和令人放心的技术支持体制，在众多领域得到了使用。除了半导体领域以外，在化学、医药、其他制造业和研究开发用途方面，荏原制作所的产品同样大放光彩。
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