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NMC 612G 12英寸金属刻蚀机

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。










冷热台,快速退火炉,光刻机,纳米压印、磁控溅射,电子束蒸发

1. 产品概述

NMC 612G 12英寸金属刻蚀机,可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀。

2. 设备用途/原理

NMC 612G 12英寸金属刻蚀机,可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀,高性能静电卡盘,可用于 Si wafer 及玻璃片稳定吸附,设备提供多种均匀性调节手段。本土化服务及定制化软件配置能力

3. 设备特点

晶圆尺寸 12英寸,适用材料 铝、硅、氧化物、钼、氧化铟锡,适用工艺 铝线、铝垫、硅、介质刻蚀、铝 / 钼 /ITO 等金属刻蚀,适用域 新兴应用、集成电路。百科:?半导体金属刻蚀机的原理?主要涉及到湿法刻蚀和干法刻蚀两种技术。这两种技术都是半导体制造工艺中非常重要的步骤,用于有选择地从硅片表面去除不需要的材料,以达到在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形的目的。



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