Entegris压力传感器耐腐蚀化学品高精度测量 Entegris 4100/4150型 特点介绍

4100型

无论您是为了自动化、过程控制还是安全而测量压力，您的测量都必须干净、准确且可靠。

为了满足半导体行业的需求，Entegris 将最新的电子传感器技术与高度清洁的材料相结合，生产出能够对工艺变化进行高度控制的先进产品。

在高纯度应用中可靠测量腐蚀性化学品和 CMP 浆料中的压力

所有装置在发货前均经过功能测试，精度为满量程的 1%

无活动部件，减少颗粒产生

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，适用于高纯度应用

行业标准 Flaretek® 连接减少了池化和占地面积。它还允许灵活的系统设计并且易于安装。

4150型

可用于氢氟酸和负压

使用耐化学腐蚀的蓝宝石压力传感器准确可靠地测量惰性气体真空

监控过程条件可提高安全性和系统性能

所有装置在发货前均经过功能测试，精度为满量程的 1%

可连接电子显示/监控系统

无移动部件，无填充液，消除了污染的可能性

非金属传感器技术可实现可靠的测量

接液部件为 PTFE、蓝宝石和 Kalrez®，适用于高纯度应用

紧凑的设计使安装变得容易

行业标准 Flaretek® 连接减少了池化和占地面积。它还允许灵活的系统设计并且易于安装。

Entegris压力传感器耐腐蚀化学品高精度测量 Entegris 4100/4150型 规格参数