GK100 桌面微型紫外光刻機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 邁可諾技術有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 GK100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/6/13 11:14:22
- 訪問次數(shù) 963
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桌面微型紫外光刻機
產(chǎn)品介紹
桌面微型紫外光刻機，專為微米級圖案制作而設計，旨在保障圖形轉移精度。設備采用紫外LED冷光源，結合雙非球面石英透鏡，可生成半角<2°的平行光，相較傳統(tǒng)接觸式曝光機，其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上，為操作提供了便利與精準。
該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開微細加工工藝研究。緊隨現(xiàn)代技術的步伐，桌面微型光刻機的問世為微納加工注入了新的活力，助力客戶在項目目標的實現(xiàn)過程中邁向更高精度、更具創(chuàng)新性的階段。技術參數(shù)
曝光光源:紫外LED；
光源波長:365nm;
曝光面積:4英寸、6英寸可選;
曝光方式:單面接觸式定時曝光；
曝光分辨率:2um;
曝光強度:30~120mW/cm2可調(diào)；
曝光不均勻性:<5%;
光源平行性:≤2°
光源壽命:>20000h;
電源輸入:AC220V+10V，50HZ
采購中心
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