紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）

IRLabs的IREM-IV紅外顯微鏡系統(tǒng)使您能夠更快、更準確、更可靠地進行半導(dǎo)體故障分析和調(diào)試。

IREM-IV相機提供超低噪聲擴展波長PEM成像，在工作電壓為400 mV的10 nm設(shè)備上具有經(jīng)驗證的發(fā)射成像靈敏度。自行設(shè)計和制造的相機，用于低維護操作，，包括6位透鏡轉(zhuǎn)盤和超過20小時的LN2持續(xù)制冷時間。光學(xué)擴展端口為外部激光掃描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升級路徑。

3.3NA SIL物鏡是定制設(shè)計的透鏡家族中的新產(chǎn)品，經(jīng)過優(yōu)化，可在整個視場上提供衍射限制成像。自對準SIL可自動調(diào)平，以符合被測設(shè)備的局部輪廓。彎曲設(shè)計提供了低的接觸力，因此適用于成像安裝器件或裸晶圓。

集成輪廓傳感器，測量器件表面輪廓，高度分辨率優(yōu)于10 um。使用與精密x-y-z平臺集成的傾斜臺，可以直接測量和補償從翻轉(zhuǎn)邊緣或器件彎曲產(chǎn)生的局部表面傾斜。跟自對準SIL相結(jié)合，以實現(xiàn)安全可靠的SIL成像。

擴展波長PEM成像通常是熱背景噪聲受限的。IREM-IV提供兩個內(nèi)部冷卻的濾光輪，因此光譜濾光器或背景限制孔徑適用于任何測量場景。

紅外輻射顯微成像系統(tǒng)（微觀溫度分布成像）指標參數(shù)：

相機                                                                                                       運動系統(tǒng)

●   1016×1016 液氮制冷MCT陣列                                                          ●   25nm分辨率

●   像元尺寸 18um                                                                                 ●   100mm運動范圍 （X-Y-Z）

●   400-2500nm 光譜響應(yīng)范圍                                                               ●    阻尼振動隔離

●   6個位置自動物鏡轉(zhuǎn)盤                                                                         ●    電動樣品傾斜選項

●   6個位置制冷濾光片/孔徑轉(zhuǎn)輪

●   大于20小時液氮維持時間

系統(tǒng)尺寸

●   顯微鏡   810mm x 876mm x 813mm， 160kg

●   控制系統(tǒng)  610mm x 1283mm x 762mm，90kg

物鏡選項：

參考圖例

**詳細技術(shù)參數(shù)可參考Datasheet或咨詢上海昊量光電設(shè)備有限公司。

更多詳情請聯(lián)系昊量光電/歡迎直接聯(lián)系昊量光電

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。