工艺与材料表征系统 TriboLab CMP
- 公司名称 上海富瞻环??萍加邢薰?/a>
- 品牌 Bruker/布鲁克
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/5/22 18:54:09
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产地类别 | 进口 | 仪器种类 | 多功能摩擦磨损试验机 |
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工艺与材料表征系统 TriboLab CMP
产地类别:进口
仪器种类:多功能摩擦磨损试验机
仪器尺寸:394mm(宽)x 610mm(深)x 775mm(高)
最大摩擦力:200N
摩擦力分辨率:10mN
最高温度:1000℃
TriboLab CMP 利用其前身产品 (Bruker CP-4) 超过 20 年的 CMP 领域专业知识,为业界的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能?;诒咎咨璞覆母呔群透呖芍馗葱允沟迷谡?CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上能够提供广泛的抛光压力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具,可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。
用于 CMP 的小型研发规模专业系统
布鲁克的TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专为晶圆抛光工艺而设计,是具有可靠、灵活和高效的台式设备。
重现全尺寸晶圆抛光工艺条件,无需在生产设备上停机
提供的测量可重复性和细节检测
允许在小样品上进行测试,比全晶圆测试节省大量成本
板载诊断系统可以更好地了解抛光过程
比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数
从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据
通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策
具有灵活的样品类型、尺寸和安装配置
抛光任何平面材料,几乎能使用任何修正盘,任何抛光液,和任何抛光垫
轻松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圆
可同时安装多个样品,测试更灵活
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