日本okksg半導(dǎo)體電子元件全自動(dòng)UV紫外黑光 FBUV-系列 特點(diǎn)介紹

黑光規(guī)格的全自動(dòng)UV照射機(jī)是自動(dòng)取出卡匣供給的晶圓框，照射

UV光并進(jìn)行保管的裝置。切割后，紫外線(xiàn)照射會(huì)降低膠帶的粘合強(qiáng)度，使其更容易拾取。

兼容 8 英寸和 12 英寸晶圓框架，可自動(dòng)更換設(shè)置。

盒式裝置可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)照射。

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)可實(shí)現(xiàn)均勻一致的紫外線(xiàn)照射。

多種UV照射條件（時(shí)間設(shè)定或累積光強(qiáng)度設(shè)定）

在觸摸屏上實(shí)時(shí)顯示紫外線(xiàn)照度。

由于黑光規(guī)格，功耗較低。

兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過(guò)觸摸面板自動(dòng)完成設(shè)置更改）

日本okksg半導(dǎo)體電子元件全自動(dòng)UV紫外黑光 FBUV-系列 規(guī)格參數(shù)

盒式裝置可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)照射。

旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)可實(shí)現(xiàn)均勻一致的紫外線(xiàn)照射。

多種UV照射條件（時(shí)間設(shè)定或累積光強(qiáng)度設(shè)定）

在觸摸屏上實(shí)時(shí)顯示紫外線(xiàn)照度。

由于黑光規(guī)格，功耗較低。

兼容8英寸/12英寸磁帶。（可以通過(guò)觸摸面板自動(dòng)完成設(shè)置更改）

尺寸寬770×深1090×高1200（毫米） 

重量約250公斤 

駕駛空氣0.4～0.5Mpa 65L/min 

紫外線(xiàn)照度9mW/cm2以上 

氮?dú)?.4～0.5Mpa 100L/min 

電源AC100V 50/60Hz 30A