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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉> 真空快速退火炉 8寸

真空快速退火炉 8寸

具体成交价以合同协议为准

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昱臣半导体技术(香港)有限公司是专业的半导体及微电子领域仪器设备供应商,昱臣半导体技术(香港)有限公司所代理的仪器设备广泛用于高校、研究所、半导体企业。

昱臣半导体技术(香港)有限公司目前代理的主要产品包括:

- 霍尔效应测试仪(Hall Effect Measurement System);

- 快速退火炉(RTP);

- 回流焊炉,真空烧结炉(Reflow Solder System);

- 探针台(Probe Station),低温探针台(Cryogenic Probe Station);

- 贴片机(Die Bonder),划片机(Scriber),球焊机/锲焊机(Wire Bonder);

- 原子层沉积系统(ALD),等离子增强原子层沉积设备(PEALD);

- 磁控溅射镀膜机(Sputter),电子束蒸发镀膜机(E-beam Evaporator),热蒸发镀膜机(Thermal Evaporator),脉冲激光沉积系统(PLD) ;

- 低压化学气相沉积系统(LPCVD),等离子增强化学气相沉积系统(PECVD),快速热化学气相沉积系统(RTCVD);

- 反应离子刻蚀机(RIE),ICP刻蚀机,等离子体刻蚀机;

- 致冷机/低温恒温器(Cryostat/Cryocooler);

- 加热台、热板、烤胶台 (Hot Chuck / Hot Plate);

- 扫描开尔文探针系统(Kelvin Probe),光反射膜厚仪(Reflectometer);

- 高温超导磁体(HTS Magnet),快速场循环核磁共振弛豫测试仪(FFC Reflexometer);






原子层沉积系统,快速退火炉,PECVD,刻蚀机

规格参数:

1、样品尺寸:AS-master8-inch,Up to 200 mm diameter

2、温度范围:AS-master室温~1450 ℃;

3、升温速率:AS-master :0.1 ℃~150 ℃/s ;

4、温度控制:快速数字PID控制;

5、热电偶:2个K型热电偶;

6、低温高温计温度范围:150℃~1100 ℃;

7、高温高温计温度范围:400℃~1500 ℃;

8、工艺气体气路配质量流量计(MFC)4氮气、氩气、混合气体氧气;

9、配置分子泵及真空规,真空度达10-6hPa;

10、红外卤素灯管加热,冷却采用风冷(低噪音水平,无需压缩空气);

11、加热由功率控制而非电压控制,避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题,保证了良好的重现性及均温性,即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到最初的热处理效果;

12、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢;

冷壁水冷技术优点在于:1、无记忆,2、工艺重复性高,3、冷却速度快;

13、反应腔室的设计,气体的进入口设计在wafer的表面,避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性;

14.安装条件Voltage : 3x400V+N+Gr

Power : 75 kW, 90 kW or 105 kW

Water : 2 to 4 bars, pressure drop 1 bar, 30 to 50 l/mn

Compressed air : 6 bars (valve actuation)

Process gas fittings : double ferrule ? or VCR ? (option)


售后服务
产品货期:200天
整机质保期:1年
培训服务:安装调试现场免费培训
问商家

Annealsys退火炉AS-master的工作原理介绍

退火炉AS-master的使用方法?

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退火炉AS-master可以检测什么?

退火炉AS-master使用的注意事项?

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