产品型号

微型 PECVD 系统

安装条件

本设备要求在海拔 1000m 以下， 温度 25℃±15℃ ，湿度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、电： AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。

2、样品可置于加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3 、采用 PID 方式调节温度， 可设置 30 段升降温程序。

4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。

5 、已通过 CE 认证。

技术参数

等离子源

1、等离子体射频电源： 110V/220V    50Hz/60Hz    <100W

2、输出频率： 13.56MHz

3、射频功率： 7.2W 、10.5W 、18W 三档，可调节

4、腔体尺寸： 外径 ?76.2mm×内径 ?68.58mm×长 406.4mm

5 、加热圈： 电源 220V ，功率 500W ，外径 ?50mm×内径 ?40mm×70mm ，并套有内径 ?50.8mm×?75mm 的石英罩

6、法兰： ?3″不锈钢法兰， 设有 KF-25 真空泵接口、 1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体：可通入多种惰性气体， 如 N2 、Ar，不可通入易燃易爆性气体

8、真空度： 10-2torr  （机械泵）

两通道混气系统

1、浮子流量计： 10ml/min-100ml/min ，2 个

2、针阀： 304 不锈钢针阀， 3 个

3、压力表： -0.1MPa-1.0MPa（0.01MPa/grid）， 3 个

真空泵

1、抽气速率： 120L/min

2、接口： KF-25

产品规格

1 、尺寸： 等离子源 216mm×254mm×203mm ，控制盒 102mm×254mm×203mm，两通道混 气系统 340mm×300mm×180mm  ，移动架 600mm×600mm×1250mm

2、重量： 32kg