产地类别 | 国产 | 应用领域 | 生物产业,能源,电子/电池,航空航天,电气 |
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HF-5-10高负载平台的行程为10mm,重量为145g。
概观 | |
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自由度 | 1 |
行程[mm] | 10 |
最大升力[N] | 5 |
初始尺寸[mm] | 54 x 25 x 42 |
重量[g] | 145 |
定位性能 | |
开环最大速度[mm/s] | 2 |
开环定位分辨率[nm] | <1 |
闭环定位分辨率[nm] | 2 |
闭环重定位精度[nm] | ±60 |
选配 | |
材质 | 标配为铝底座;可选配钢座(-ST)、钛基(-TI);均黑色阳极氧化(-BK) |
真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
无磁 | 可根据要求定制 |
* 所有技术规格参数均为近似值,由于产品持续研发,我们保留更改技术规格的权利,恕不另行通知。