1. 产品概述

电子束蒸发镀膜机E-Beam

系统主要由蒸发室、主抽过渡管路、旋转基片架、光加热系统、电子枪及电源、石英晶体振荡膜厚监控仪、工作气路、抽气系统、控制系统、安装机台等部分组成。

2. 设备用途

本系统配有一套电子枪及电源，可满足在Al，Ni，Ag，Pt，Pd，Mo,Cr和Ti等多种金属和介质膜基片上均匀沉积多层膜的需要。

3. 技术参数

真空室尺寸：定制

极限真空度：≤6.0E-5Pa                    

沉积源：6个40cc坩埚                  

温度：最高300℃

电控描述：全自动

工艺：片内膜厚均匀性：≤±3%

特色参数：样品尺寸及数量可定制，工件架有拱形基片架和行星形基片架

4. 企业简介

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。