德国尤尼坦大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品 VPO-300

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公司介绍 主营产品

本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售，是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品；电子光电产品设备研发组装及销售，半导体仪器设备销售；国内贸易、货物及技术进出口；医疗器械研发及销售；医用耗材及医疗用品的销售等。

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本公司主要从事半导体进口设备及辅助材料、医疗检测设备等多领域的销售，是一家集研发、制造、销售为一体的企业。我们的主营业务涉及了研发销售及加工材料及周边产品；电子光电产品设备研发组装及销售，半导体仪器设备销售；国内贸易、货物及技术进出口；医疗器械研发及销售；医用耗材及医疗用品的销售等

快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备?？焖偻嘶鹇梢栽谡婵铡⒍栊云?、不同的工艺气体环境下使用。

VPO-300是一款很有特点的快速退火炉，有非常大的退火空间，适合大尺寸样品的热处理。

仪器特点：

- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；

- 可在真空、甚至于高真空环境使用；

- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；

- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；