ISC150T 高真空离子溅射仪
| 参考价 | ￥ 200000 |
| 订货量 | ≥1 台 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 深圳市速普仪器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 ISC150T
- 产地 深圳市南山区南山街道桂庙路北向南瑞峰花园 1 栋 209
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2023/2/20 11:39:24
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| 靶材材质 | au/pt/pd/W/C/Cr/NI/Cu | 靶材尺寸 | 50mm |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 10万-30万 |
| 溅射气体 | 空气/Ar | 控制方式 | 触摸屏 |
| 样品仓尺寸 | 150*120mm | 样品台尺寸 | 80mm |
| 应用领域 | 化工,地矿,电子/电池,航空航天,汽车及零部件 |
技术规格 | 参数 |
真空泵组 | 进口品牌无油干泵+分子泵组 |
泵组抽速 | >0.7 m3/h隔膜泵+60 L/S 分子泵 |
极限真空 | <10E-3 Pa |
工作气压 | 0.5-2 Pa |
抽空时间 | <5 Min |
真空测量 | 测量范围大气压到10E-3 Pa，进口品牌真空计 |
气体控制 | MFC气体质量流量控制器（50 SCCM Ar） |
腔室尺寸 | ~? 150 *110 mm 耐划伤石英玻璃 标配全铝腔体自动旋转偏转样品台 |
磁控靶源 | 靶材尺寸 ? 50 *0.1-3 mm （建议厚度>0.2 mm）/ 带手动挡板 可溅射贵金属Au/Pt等，也可溅射Cr、W、Ag等常规金属（通Ar气） |
溅射电源 | 恒功率磁控DC溅射电源 Max. 30W ，Max. 100 mA |
溅射时间 | 可程序设定 |
操作方式 | 触摸屏控制 |
重量尺寸 | ~30 Kg / 500 mm宽*400 mm深*470 mm高 |
输入电源 | 110-220V AC，50/60Hz 接地三脚插头 |
输入功耗 | <500 W |
冷却方式 | 风冷 |
质量保证 | 一年免费/终身维护 |
备注 | 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们 |
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