| 靶材材质 | 金 | 靶材尺寸 | Ф50*0.1mm |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 1-5万 |
| 溅射气体 | 氩气或空气 | 控制方式 | 手动 |
| 样品仓尺寸 | 160*110mm | 样品台尺寸 | Ф50mm |
| 应用领域 | 化工,生物产业,地矿,航空航天,综合 | 适用靶材 | 金、铂、银 |
JS-1600手套箱适用小型离子溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。
用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件，溅射电流。大尺寸的真空腔体设计，满足大样品的溅射需求。标配一片金靶，纯度为99.999%，为获得高质量的金膜提供了好的基础。
JS-1600手套箱适用小型离子溅射仪主要技术指标如下：
1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm 纯度：99.999%；
2、真空室：直径：160mm，高：120mm；
3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm；
4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar；
5.离子电流表：50mA；
6.数显计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间；
7.电压：-1600DVC；
8.机械泵:2升/每秒；
9.工作室工作媒介气体：空气或氩气；
10．微型真空气阀： 配有氩气专用进气口和微量充气调节，可连接φ3mm软管；
11. 外型尺寸：360mm×300mm×380mm；
备注：JS-600小型离子溅射仪可适用的靶材：金、铂、银。
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