TESCAN VEGA扫描电镜SEM是TESCAN第 四代产品中的一员，配置的无物镜光阑镜筒， 实现超大视野、高分辨及大景深成像，并且便于优 化电子束参数，实现优化成像观察和分析应用。

在TESCAN的Essence™操作软件中，结合 了扫描电子显微镜成像和实时元素分析。这种组合 大大简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程， 提供了质量控制、失效分析和实验室常规材料检验 的有效得分析解决方案。

配置新颖的Essence™三维演示功能，保证了 样品运动时样品室内探测器的安全。

安全便捷的SingleVac™模式

SingleVac™模式主要用于直接观察未进行喷 镀的不导电样品或是对电子束敏感样品，这个功能 已经成为了 TESCAN VEGA扫描电镜SEM的标配功能。 不需要安装压差光阑，一键就可以切换高低真空模 式，操作简易且不存在误操作的可能性。

SingleVac™也可以搭配可选的UniVac™模 式，对于有更多需求的使用者而言，可以对样品室 低真空进行持续调整，最高可达500 Pa,用于 样品进行成像和分析。VEGA还能够提供客户一款 真空缓冲器(Vacuum Buffer),它可以显著减少 旋转泵的运行时间，实现生态效益和经济效益。

•  SE 分辨率：3 nm @ 30 kV

•  8 nm @ 3 kV

•  超大观察视野，最大可达50 mm

•  强大的低倍性能，为大样品的观察和定位提 供了便利

•  *集成的Essence™ EDS功能，可以快 速，轻松地从成像切换到元素分析操作

•  不需安装压差光阑，一键实现高真空到 SingleVac™低真空模式的切换，并实现低 真空模式下的大视野

•  可选配TESCAN 一体化EBIC, CL等诸多 探测器和第三方分析扩展附件