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LH-RTA-E 6寸快速退火炉

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量伙半导体设备(上海)有限公司成立于2018年,位于上海市浦东新区。公司专注于半导体芯片设备的研发、生产和销售,为半导体芯片制造行业提供可靠的设备和高质量的服务、

公司在安徽合肥设有研发、生产基地,在北京、西安设有办事处。

公司自主研发的快速退火炉RTP具有出色的技术水平,已在Fab厂、研究所、高校等芯片生产单位得到广泛应用。


Larcomse Equipment (Shanghai) Co., Ltd. was established in 2018 and is located in Pudong New Area, Shanghai. The company focuses on the R & D, production and sales of semiconductor chip equipment, providing high-end equipment and high-quality services for the semiconductor chip manufacturing industry


The company has R & D and production bases in Hefei, Anhui Province, and offices in Beijing and Xi'an.


The rapid annealing furnace RTP independently developed by the company has the leading technical level in China and has been widely used in fab factories, research institutes, universities and other chip production units.


快速退火炉

我司具有大量博士研究生等高学历人才,设备所涉及到的软件、自动化和机械等均有自己的知识产权 ,也可依据客户需求,完成定制化设备的研发生产。


工艺应用:

快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

离子注入/接触退火;

高温退火;

高温扩散。

金属合金;

热氧化处理;

应用领域:

化合物半导体(砷化镓、氮化物、碳化硅等);

多晶硅;

太阳能电池片;

MEMS;

功率器件;

IC晶圆;

LED晶圆。


量伙半导体设备(上海)有限公司成立于2018年,位于上海市浦东新区。公司专注于半导体芯片设备的研发、生产和销售,为半导体芯片制造行业提供优秀的设备和高质量的服务、

公司在安徽合肥设有研发、生产基地,在北京、西安设有办事处。

公司自主研发的快速退火炉RTP具有国内xianjin的技术水平,已在Fab厂、研究所、高校等芯片生产单位得到广泛应用。


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