COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW RF Generator 可提供優(yōu)秀的脈沖品質(zhì)，穩(wěn)定性及功率投射準確性，使其不僅對于非半導(dǎo)體的應(yīng)用，同時對于如等離子沉積及蝕刻等的半導(dǎo)體類應(yīng)用來說也是可靠的選擇。COMET cito Series 可以長時間穩(wěn)定運行，故障率低，能夠在提高產(chǎn)能的同時降低運行成本。

COMET cito Series 高頻射頻電源 優(yōu)點

1.具有更好的等離子穩(wěn)定性，可確保工藝的重復(fù)性

2.具有高筑波比的理想脈沖波形

3.具有更精確的功率輸出，可對等離子工藝進行更精確的控制

4.對于電纜長度的低敏感性可使其更易于與設(shè)備整合

5.具有更高的工作效率及更低的使用成本

COMET 高頻射頻電源 cito1370 13.56MHz 7KW 射頻發(fā)生器 規(guī)格

型號：cito-1370-WC7B-P37A-FF

AC輸入：400~480V，3phase，50/60Hz，3x22A @400V

RF輸出：7000W，13.56MHz，837V，50 Ohm

通信接口：RS232，Ethernet，DB25 Analog/Digital，9-pin matching bus

安裝機架：標準19英寸機架裝配