产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
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价格区间 | 面议 | 应用领域 | 生物产业,电子/电池,航空航天,电气,综合 |
结构特点
由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成,径向双气路结构设计,使径向有出色的载荷力,安装结构上可选择立式或卧式使用,且能组合AB气浮轴,达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射,适合在各种速度下平滑转动,无气浮轴抱死问题。
精度性能
NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差100nm,同步径向跳动误差150nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致,使用寿命10年以上。
闭环反馈
圆光栅闭环反馈,运用高性能控制系统,分辨率优于0.01arc sec,结构设计上,气浮转台能精准回到零点位置。
定制化
气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用??啥ㄖ瓢沧盎罚糜诳占淠D庾爸?,MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在转动台面上25mm处,测试速度10deg/s,Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量,精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如需非标准测试,请咨询我们。
1. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。
2. 空载条件下指标,max转速取决于负载大小。
3. 为保护气浮轴承建议加装压力?;た亍Q顾蹩掌匦胧乔褰嗟模ü酥?.25μm或更佳,ISO8573-1),无水(压力露点-20℃,ISO8573-1级别3)及无油(ISO8573-1级别1)。