| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 电动 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 应用领域 | 生物产业,电子/电池,钢铁/金属,航空航天,电气 |
结构特点
QFL3D系列是一款预负载结构的三轴气浮运动台，气浮结构已证明是精密应用中的理想选择，适用飞秒激光加工、微纳制造等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是定位抖动，还是速度稳定性，QFL3D系列都是良好的解决方案。
定制化
根据用户的应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如直接在XY轴上增加Z轴，平升Z轴或定制大理石基座、立柱及横梁上侧挂Z轴等。此外可提供激光触发同步输出信号。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理也符合实验室环境。
规格指标
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃（重复定位精度优于±50nm，测量时温度20℃±0.01℃），湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下指标，MAX速度和加速度取决于负载大小。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力?；た?。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
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