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原位桿 透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京麥迪森科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) 原位桿
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2025/6/10 12:51:58
  • 訪問次數(shù) 871

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北京麥迪森科技有限公司(Madison Technology Co., Ltd.)成立于 2017 年,憑借專業(yè)的服務(wù)和技術(shù)支持(包括研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測等各個(gè)環(huán)節(jié)),致力于為實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)領(lǐng)域提供高性能的真空產(chǎn)品和全面的真空系統(tǒng)解決方案。

作為超高真空產(chǎn)品供應(yīng)商,麥迪森科技專注服務(wù)于需要超高真空環(huán)境的各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域,如表面科學(xué)、原子物理等,為客戶提供定制化真空系統(tǒng)、專用真空設(shè)備及配套產(chǎn)品。包括用于分析 X 射線、同步輻射光源、自由電子激光和中子散射所需的光束線及相關(guān)部件,如高精度狹縫系統(tǒng)、復(fù)合折射透鏡系統(tǒng)、位移臺(tái)等;各種真空獲得設(shè)備和真空應(yīng)用組件,如真空泵、高真空 / 超高真空閥門、真空腔體、饋通(feedthrough) 等;以及真空脂、真空潤滑油等真空密封潤滑產(chǎn)品。此外,我們還提供系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)分析相關(guān)的軟硬件產(chǎn)品。

攜手國際真空設(shè)備制造商和科研院所,麥迪森科技以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品、專業(yè)的方案、高效的服務(wù),助力科學(xué)發(fā)展。


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Edwards真空泵,Allectra真空饋通,Apeizon真空潤滑脂,

價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 冷場發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)林牧漁,石油

透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統(tǒng),在透射電子顯微鏡中制造氣氛及高溫環(huán)境,實(shí)現(xiàn)高1 Bar & 800 ℃的觀測條件。該系統(tǒng)使研究者可以在原子尺度上實(shí)時(shí)觀測催化反應(yīng)、氧化還原反應(yīng)、低維材料生長/合成以及各類腐蝕反應(yīng),將您的透射電鏡從一臺(tái)靜態(tài)成像工具升級(jí)為一套功能強(qiáng)大的納米實(shí)驗(yàn)室。

透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統(tǒng)系統(tǒng)組成:

① 原位氣氛環(huán)境樣品桿:由樣品桿主體、氣流通道、四電極加熱模塊和MEMS反應(yīng)微腔組成。樣品被安置于上下兩片MEMS芯片以及配套的O圈組成的密封微腔內(nèi)。
② 真空檢漏系統(tǒng):由進(jìn)口分子泵組、高真空腔體和高倍顯微鏡組成。用于實(shí)驗(yàn)前驗(yàn)證MEMS反應(yīng)微腔密封情況,確保在TEM中抽真空后不會(huì)有氣體泄漏。
③ MEMS反應(yīng)微腔:由上下兩片MEMS芯片組成,用于搭載實(shí)驗(yàn)樣品。樣品觀測區(qū)域覆蓋有高質(zhì)量、高透過率的氮化硅薄膜窗口,窗口上覆蓋有四電極加熱區(qū)域,樣品搭載在加熱電極上。該MEMS反應(yīng)微腔與外接氣路通道以及加熱模塊高度耦合,從而在TEM中實(shí)現(xiàn)氣氛環(huán)境與高溫環(huán)境準(zhǔn)確可控的原位觀測。
④ 氣氛環(huán)境控制箱:由三通道混氣模塊、渦輪真空泵、氣壓控制模塊、氣流控制模塊及配套附件組成。用于在實(shí)驗(yàn)中準(zhǔn)確、穩(wěn)定地控制MEMS反應(yīng)微腔中的氣氛環(huán)境,控制微反應(yīng)腔中的氣壓及氣體流速。
⑤ 高性能PC及配套控制軟件:該系統(tǒng)中的加熱及氣氛環(huán)境均為軟件控制,多種工作模式可選,功能強(qiáng)大,方便易用。
⑥ 溫控儀:用于控制MEMS反應(yīng)微腔中的溫度,四個(gè)電極通道,帶溫度反饋。
⑦ 樣品桿載具、裝樣附件及其他工具。

性能指標(biāo)

透射電鏡指標(biāo):

● 兼容型號(hào)電鏡及極靴;

● 通氣后透射電子顯微鏡分辨率優(yōu)于0.1 nm。


加熱指標(biāo):

● 溫度范圍:室溫至800 ℃;

● 溫度準(zhǔn)確度:優(yōu)于5% ;

● 溫度穩(wěn)定性:優(yōu)于±0.1 ℃;

● 四電極加熱,帶溫度反饋;

● 軟件控制。


氣體流動(dòng)指標(biāo):

● 三通道混氣

● 氣壓范圍:0 - 1 Bar;

● 氣壓準(zhǔn)確度:30 mBar;

● 氣體流速: 0.01 - 0.4 ml/min;

● 可通氣體:H2, N2, O2, He, Ar, CO, CO2, CxHy等;

● 軟件控制。


MEMS反應(yīng)微腔指標(biāo):

● 高質(zhì)量氮化硅膜厚度25 nm;

● 樣品漂移優(yōu)于0.7 nm/min。



透射電鏡原位MEMS氣氛加熱測量系統(tǒng)



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